| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第15-27页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第15页 |
| 1.2 CVD金刚石涂层抛光的研究进展 | 第15-22页 |
| 1.2.1 金刚石基本特性 | 第15-18页 |
| 1.2.2 金刚石制备方法 | 第18-20页 |
| 1.2.3 CVD金刚石抛光研究现状 | 第20-22页 |
| 1.3 飞秒激光加工超硬材料研究进展 | 第22-25页 |
| 1.3.1 飞秒激光性质 | 第22-23页 |
| 1.3.2 飞秒激光加工研究现状 | 第23-25页 |
| 1.4 课题主要研究内容 | 第25-27页 |
| 第二章 飞秒激光与金刚石材料能量耦合机制 | 第27-42页 |
| 2.1 飞秒激光的产生原理 | 第27-30页 |
| 2.1.1 光子的基本性质 | 第27页 |
| 2.1.2 光的形成及光的放大 | 第27-30页 |
| 2.2 飞秒激光脉冲产生与放大 | 第30-32页 |
| 2.2.1 克尔透镜锁模 | 第30页 |
| 2.2.2 啁啾脉冲放大技术 | 第30-32页 |
| 2.3 飞秒激光特性及与CVD金刚石涂层相互作用机理 | 第32-37页 |
| 2.3.1 飞秒激光热源分布理论模型 | 第32-33页 |
| 2.3.2 飞秒激光去除CVD金刚石涂层物理模型 | 第33-34页 |
| 2.3.3 飞秒激光去除CVD金刚石涂层数学模型 | 第34-37页 |
| 2.4 飞秒激光诱导CVD金刚石涂层周期条纹结构理论机制 | 第37-38页 |
| 2.4.1 飞秒激光表面散射波干涉理论 | 第37页 |
| 2.4.2 飞秒激光表面等离子体激元干涉 | 第37-38页 |
| 2.4.3 自组织理论 | 第38页 |
| 2.5 飞秒激光对CVD金刚石烧蚀阈值及去除率研究 | 第38-41页 |
| 2.5.1 材料烧蚀阈值 | 第38-39页 |
| 2.5.2 材料烧蚀阈值的数学模型推算 | 第39-40页 |
| 2.5.3 飞秒激光加工过程中材料的去除 | 第40页 |
| 2.5.4 材料去除率理论模型推算 | 第40-41页 |
| 2.6 本章小结 | 第41-42页 |
| 第三章 飞秒激光抛光CVD金刚石涂层试验方案 | 第42-47页 |
| 3.1 试验材料 | 第42-43页 |
| 3.2 试验装置方法 | 第43-44页 |
| 3.2.1 试验及检测设备 | 第43-44页 |
| 3.2.2 飞秒激光试验装置 | 第44页 |
| 3.2.3 材料前后期预处理 | 第44页 |
| 3.3 试验方案与流程 | 第44-46页 |
| 3.3.1 飞秒激光抛光CVD金刚石试验参数 | 第44-45页 |
| 3.3.2 飞秒激光材料去除率试验参数 | 第45页 |
| 3.3.3 试验总流程示意图 | 第45-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 飞秒激光抛光CVD金刚石涂层试验研究 | 第47-68页 |
| 4.1 飞秒激光加工参数对CVD金刚石涂层表面粗糙度研究 | 第47-53页 |
| 4.1.1 飞秒激光功率对表面粗糙度的影响 | 第47-49页 |
| 4.1.2 飞秒激光重复频率对表面粗糙度的影响 | 第49-51页 |
| 4.1.3 飞秒激光扫描速度对表面粗糙度的影响 | 第51-53页 |
| 4.2 飞秒激光加工参数对CVD金刚石涂层表面微观形貌研究 | 第53-59页 |
| 4.2.1 飞秒激光功率对CVD金刚石涂层表面微观形貌影响 | 第53-55页 |
| 4.2.2 飞秒激光重复频率对CVD金刚石涂层表面微观形貌影响 | 第55-56页 |
| 4.2.3 飞秒激光扫描速度对CVD金刚石涂层表面微观形貌影响 | 第56-59页 |
| 4.3 CVD金刚石涂层抛光前后的形貌对比研究 | 第59-60页 |
| 4.4 飞秒激光金刚石涂层烧蚀阈值的推算 | 第60-63页 |
| 4.5 飞秒激光加工参数对材料去除率的结果研究 | 第63-67页 |
| 4.5.1 飞秒激光功率对材料去除率的影响 | 第63-65页 |
| 4.5.2 飞秒激光重复频率对材料去除率的影响 | 第65-66页 |
| 4.5.3 飞秒激光扫描速度对材料去除率的影响 | 第66-67页 |
| 4.6 本章小结 | 第67-68页 |
| 第五章 总结与展望 | 第68-70页 |
| 5.1 总结 | 第68-69页 |
| 5.2 展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 作者简介及读研期间主要科研成果 | 第75页 |
