| 中文摘要 | 第1-14页 |
| ABSTRACT | 第14-19页 |
| 符号说明 | 第19-20页 |
| 第一章 绪论 | 第20-42页 |
| ·引言 | 第20-22页 |
| ·光波导 | 第22-30页 |
| ·本文的研究内容 | 第30-35页 |
| 参考文献 | 第35-42页 |
| 第二章 离子注入波导结构计算分析方法与形成机理 | 第42-52页 |
| ·离子注入光波导折射率改变机理 | 第43-47页 |
| ·计算离子注入铌酸锂晶体光波导折射率分布的方法 | 第47-50页 |
| ·光束传播方法(BPM) | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-52页 |
| 第二章 光波导结构的测试、分析及微加工方法 | 第52-60页 |
| ·背散射分析技术(RBS) | 第53-55页 |
| ·光刻技术 | 第55-57页 |
| ·离子束刻蚀技术 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-60页 |
| 第四章 氧离子注入铌酸锂晶体的导波特性和机理研究 | 第60-78页 |
| ·多能量氧离子注入铌酸锉晶体平面光波导的研究 | 第61-65页 |
| ·3MeV的氧离子注入铌酸锂晶体平面光波导的退火特性的研究 | 第65-71页 |
| ·剥层法测试波导的损伤分布及折射率分布 | 第71-77页 |
| 参考文献 | 第77-78页 |
| 第五章 铌酸锂晶体二维波导结构的制备及其特性研究 | 第78-98页 |
| ·多能量氧离子注入与光刻技术相结合形成铌酸锂晶体条形光波导 | 第79-83页 |
| ·离子注入与离子束刻蚀相结合制备脊形光波导 | 第83-89页 |
| ·氧离子注入制备Y分支功率分离器的研究 | 第89-91页 |
| ·多能量氧离子注入制备1×4分支铌酸锂晶体功率分离器的研究 | 第91-96页 |
| 参考文献 | 第96-98页 |
| 第六章 离子注入磷酸钛氧钾晶体光波导的研究 | 第98-107页 |
| ·2.4MeV氦离子注入KTP晶体平面光波导的研究 | 第99-102页 |
| ·6MeV硅离子注入KTP晶体平面及脊形光波导的研究 | 第102-106页 |
| 参考文献 | 第106-107页 |
| 第七章 离子注入光学晶体平面光波导的制备及其特性研究 | 第107-132页 |
| ·离子注入ZnWO_4晶体平页光波导及其退火特性的研究 | 第108-114页 |
| ·离子注入Nd:SrGdGa_3O_7晶体平面光波导的研究 | 第114-118页 |
| ·离子注入Nd:YGG晶体平面光波导的研究 | 第118-123页 |
| ·离子注入Na:CBN晶体平面光波导的研究 | 第123-126页 |
| ·离子注入BTO晶体平面光波导及其脊形结构的研究 | 第126-131页 |
| 参考文献 | 第131-132页 |
| 第八章 总结 | 第132-138页 |
| ·主要结果 | 第133-137页 |
| ·主要创新点 | 第137-138页 |
| 致谢 | 第138-140页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及获得的奖励 | 第140-142页 |
| 附外文论文 | 第142-154页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第154页 |
