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基于非SECS/GEM的半导体生产远程监控系统

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
第一章 绪论第10-16页
    1.1 课题背景及意义第10-11页
    1.2 国内外研究现状第11-13页
        1.2.1 半导体生产自动化国内外研究现状第11-12页
        1.2.2 OCR技术国内外研究现状第12-13页
    1.3 主要研究内容、重难点及创新点第13-15页
    1.4 本文的组织结构第15-16页
第二章 半导体后段远程监控系统总体设计第16-22页
    2.1 需求分析第16-17页
    2.2 总体方案设计第17-21页
        2.2.1 总体架构设计第17-19页
        2.2.2 技术架构设计第19-21页
        2.2.3 数据存储设计第21页
    2.3 本章小结第21-22页
第三章 OCR图像处理模块设计第22-42页
    3.1 OCR技术概述第22页
    3.2 OCR图像处理流程第22-24页
    3.3 图像预处理第24-30页
        3.3.1 灰度化第24-25页
        3.3.2 二值化第25-30页
    3.4 切分第30-36页
        3.4.1 切分方法第31-33页
        3.4.2 行切分第33-34页
        3.4.3 字符切分第34-36页
    3.5 识别第36-40页
        3.5.1 特征提取第36-37页
        3.5.2 字符识别第37-39页
        3.5.3 实验结果及分析第39-40页
    3.6 本章小节第40-42页
第四章 客户端设计第42-64页
    4.1 需求分析第42-43页
    4.2 客户端总体设计第43-46页
        4.2.1 客户端基本术语设计第43-45页
        4.2.2 客户端总体框架设计第45-46页
    4.3 模板库建立第46-48页
    4.4 配置第48-55页
        4.4.1 屏幕配置第49-50页
        4.4.2 屏幕转移路径配置第50-51页
        4.4.3 读取参数配置第51-52页
        4.4.4 写入参数配置第52-53页
        4.4.5 指令参数配置第53-54页
        4.4.6 报警参数配置第54-55页
    4.5 运行第55-62页
        4.5.1 客户端初始化第55-56页
        4.5.2 客户端运行第56-62页
    4.6 日志处理第62页
    4.7 本章小结第62-64页
第五章 远程监控系统的模块设计、总体实现与部署第64-86页
    5.1 系统模块设计第64-74页
        5.1.1 远程监控模块设计第64-67页
        5.1.2 配方管理模块设计第67-72页
        5.1.3 数据采集模块设计第72-73页
        5.1.4 报警管理模块设计第73页
        5.1.5 网络服务模块设计第73-74页
    5.2 数据库模块设计第74-76页
    5.3 系统总体实现与测试第76-83页
        5.3.1 客户端实现与测试第76-81页
        5.3.2 远程监控系统模块实现与测试第81-83页
    5.4 系统部署第83-84页
    5.5 本章小节第84-86页
第六章 总结与展望第86-88页
    6.1 总结第86-87页
    6.2 展望第87-88页
致谢第88-90页
参考文献第90-93页
攻读硕士学位期间发表论文第93页

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