基于非SECS/GEM的半导体生产远程监控系统
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.1 半导体生产自动化国内外研究现状 | 第11-12页 |
| 1.2.2 OCR技术国内外研究现状 | 第12-13页 |
| 1.3 主要研究内容、重难点及创新点 | 第13-15页 |
| 1.4 本文的组织结构 | 第15-16页 |
| 第二章 半导体后段远程监控系统总体设计 | 第16-22页 |
| 2.1 需求分析 | 第16-17页 |
| 2.2 总体方案设计 | 第17-21页 |
| 2.2.1 总体架构设计 | 第17-19页 |
| 2.2.2 技术架构设计 | 第19-21页 |
| 2.2.3 数据存储设计 | 第21页 |
| 2.3 本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 OCR图像处理模块设计 | 第22-42页 |
| 3.1 OCR技术概述 | 第22页 |
| 3.2 OCR图像处理流程 | 第22-24页 |
| 3.3 图像预处理 | 第24-30页 |
| 3.3.1 灰度化 | 第24-25页 |
| 3.3.2 二值化 | 第25-30页 |
| 3.4 切分 | 第30-36页 |
| 3.4.1 切分方法 | 第31-33页 |
| 3.4.2 行切分 | 第33-34页 |
| 3.4.3 字符切分 | 第34-36页 |
| 3.5 识别 | 第36-40页 |
| 3.5.1 特征提取 | 第36-37页 |
| 3.5.2 字符识别 | 第37-39页 |
| 3.5.3 实验结果及分析 | 第39-40页 |
| 3.6 本章小节 | 第40-42页 |
| 第四章 客户端设计 | 第42-64页 |
| 4.1 需求分析 | 第42-43页 |
| 4.2 客户端总体设计 | 第43-46页 |
| 4.2.1 客户端基本术语设计 | 第43-45页 |
| 4.2.2 客户端总体框架设计 | 第45-46页 |
| 4.3 模板库建立 | 第46-48页 |
| 4.4 配置 | 第48-55页 |
| 4.4.1 屏幕配置 | 第49-50页 |
| 4.4.2 屏幕转移路径配置 | 第50-51页 |
| 4.4.3 读取参数配置 | 第51-52页 |
| 4.4.4 写入参数配置 | 第52-53页 |
| 4.4.5 指令参数配置 | 第53-54页 |
| 4.4.6 报警参数配置 | 第54-55页 |
| 4.5 运行 | 第55-62页 |
| 4.5.1 客户端初始化 | 第55-56页 |
| 4.5.2 客户端运行 | 第56-62页 |
| 4.6 日志处理 | 第62页 |
| 4.7 本章小结 | 第62-64页 |
| 第五章 远程监控系统的模块设计、总体实现与部署 | 第64-86页 |
| 5.1 系统模块设计 | 第64-74页 |
| 5.1.1 远程监控模块设计 | 第64-67页 |
| 5.1.2 配方管理模块设计 | 第67-72页 |
| 5.1.3 数据采集模块设计 | 第72-73页 |
| 5.1.4 报警管理模块设计 | 第73页 |
| 5.1.5 网络服务模块设计 | 第73-74页 |
| 5.2 数据库模块设计 | 第74-76页 |
| 5.3 系统总体实现与测试 | 第76-83页 |
| 5.3.1 客户端实现与测试 | 第76-81页 |
| 5.3.2 远程监控系统模块实现与测试 | 第81-83页 |
| 5.4 系统部署 | 第83-84页 |
| 5.5 本章小节 | 第84-86页 |
| 第六章 总结与展望 | 第86-88页 |
| 6.1 总结 | 第86-87页 |
| 6.2 展望 | 第87-88页 |
| 致谢 | 第88-90页 |
| 参考文献 | 第90-93页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文 | 第93页 |
