| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 摘要 | 第6-10页 |
| Chapter 1 INTRODUCTION | 第10-14页 |
| 1.1 MEMS Overview | 第10页 |
| 1.2 Background | 第10-11页 |
| 1.3 Research Development Status | 第11页 |
| 1.4 Work of the Thesis | 第11-12页 |
| 1.5 Conclusions | 第12-14页 |
| Chapter 2 EXTRACTION OF FRACTURE STRENGTH | 第14-30页 |
| 2.1 Fabrication Methods | 第14-20页 |
| 2.1.1 Design Rules | 第19-20页 |
| 2.2 Different Methods | 第20-28页 |
| 2.2.1 Tensile Testing Method | 第20-23页 |
| 2.2.2 Compressive Test Methods | 第23-24页 |
| 2.2.3 Bending Test Methods | 第24-26页 |
| 2.2.4 Torsional Test Methods | 第26-28页 |
| 2.3 Conclusions | 第28-30页 |
| Chapter 3 MODELING OF THE TEST STRUCTURE | 第30-38页 |
| 3.1 Micro Electrostatic Actuator | 第30-31页 |
| 3.2 Micro Thermal Actuator | 第31-33页 |
| 3.3 Analytical Model of Chevron Shaped Thermal Actuator | 第33-37页 |
| 3.4 Conclusions | 第37-38页 |
| Chapter 4 SIMULATION ANALYSIS FOR DIFFERENT DESIGNS | 第38-50页 |
| 4.1 FEM Simulation | 第38-40页 |
| 4.2 1~(st) Model | 第40-41页 |
| 4.3 2~(nd) Model | 第41-42页 |
| 4.4 3~(rd) Model | 第42-44页 |
| 4.5 4~(th) Model | 第44页 |
| 4.6 5~(th) Model | 第44-46页 |
| 4.7 6~(th) Model | 第46页 |
| 4.8 Results and Discussions | 第46-49页 |
| 4.9 Conclusions | 第49-50页 |
| Chapter 5 CONCLUSIONS AND FUTURE WORK | 第50-52页 |
| Acknowledgement | 第52-54页 |
| Dedication | 第54-56页 |
| References | 第56-60页 |
| Figures | 第60-62页 |
| Tables | 第62-64页 |
| Acronyms | 第64-66页 |
| Author's Bibliography | 第66页 |
