| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 前言 | 第10-12页 |
| 1.2 HIT电池国内外研究现状和发展趋势 | 第12-14页 |
| 1.3 太阳能电池的工作原理 | 第14-15页 |
| 1.4 HIT太阳能电池生产工艺 | 第15-17页 |
| 1.4.1 吸杂 | 第15-16页 |
| 1.4.2 制绒和清洗 | 第16页 |
| 1.4.3 非晶硅层 | 第16-17页 |
| 1.4.4 TCO导电薄膜和电极 | 第17页 |
| 1.5 本文研究内容 | 第17-18页 |
| 第二章 实验设备及材料表征 | 第18-26页 |
| 2.1 实验设备 | 第18-21页 |
| 2.1.1 真空蒸镀机 | 第18-19页 |
| 2.1.2 管式退火炉 | 第19页 |
| 2.1.3 磁控溅射仪 | 第19-20页 |
| 2.1.4 等离子体增强化学气相沉积(PECVD) | 第20-21页 |
| 2.2 实验仪器及药品 | 第21-22页 |
| 2.3 实验材料表征 | 第22-26页 |
| 2.3.1 紫外-可见-近红外分光光度计 | 第22页 |
| 2.3.2 少子寿命测试仪 | 第22-23页 |
| 2.3.3 光电转换效率测试仪 | 第23-24页 |
| 2.3.4 金相显微镜 | 第24-25页 |
| 2.3.5 霍尔效应测试仪 | 第25-26页 |
| 第三章 多晶硅表面制绒 | 第26-41页 |
| 3.1 晶硅表面制绒工艺 | 第26-28页 |
| 3.2 试验样品准备 | 第28页 |
| 3.3 碱腐蚀制绒 | 第28-32页 |
| 3.3.1 碱腐蚀时间对反射率的影响 | 第29-30页 |
| 3.3.2 碱腐蚀浓度对反射率的影响 | 第30-32页 |
| 3.4 酸腐蚀制绒 | 第32-39页 |
| 3.4.1 酸腐蚀时间对反射率的影响 | 第33-35页 |
| 3.4.2 酸液配比对反射率的影响 | 第35-37页 |
| 3.4.3 添加剂的量对反射率的影响 | 第37-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-41页 |
| 第四章 AZO薄膜的性能研究 | 第41-47页 |
| 4.1 实验过程 | 第41页 |
| 4.2 制备条件对AZO薄膜性能的影响 | 第41-46页 |
| 4.2.1 溅射功率对薄膜性能的影响 | 第42-44页 |
| 4.2.2 衬底温度对薄膜性能的影响 | 第44-46页 |
| 4.3 本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 窗口层和本征层结构参数模拟研究 | 第47-59页 |
| 5.1 AFORS-HET模拟软件介绍 | 第47-51页 |
| 5.2 AFORS-HET模拟结果分析 | 第51-54页 |
| 5.2.1 窗口层掺杂浓度对电池性能的影响 | 第51-52页 |
| 5.2.2 窗口层厚度对电池性能的影响 | 第52-53页 |
| 5.2.3 本征层厚度对电池性能的影响 | 第53-54页 |
| 5.3 电池效率模拟 | 第54-55页 |
| 5.4 HIT电池实际转换效率测试 | 第55-57页 |
| 5.5 本章小结 | 第57-59页 |
| 第六章 结论 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-67页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-71页 |