| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第14-24页 |
| 1.1 微加速度传感器概述 | 第14-16页 |
| 1.2 谐振式微加速度传感器研究现状 | 第16-23页 |
| 1.2.1 体型微机械加速度传感器 | 第16-19页 |
| 1.2.2 表面微机械加速度传感器 | 第19-21页 |
| 1.2.3 混合微机械加速度传感器 | 第21-22页 |
| 1.2.4 谐振式微加速度传感器的交叉轴灵敏度 | 第22-23页 |
| 1.3 本课题的主要研究内容 | 第23-24页 |
| 2 谐振式微加速度传感器工作原理 | 第24-33页 |
| 2.1 谐振式微加速度传感器的基本结构 | 第24-25页 |
| 2.2 谐振式加速度传感器原理 | 第25-29页 |
| 2.2.1 微型谐振器 | 第25页 |
| 2.2.2 微型谐振器的激励和检测方式 | 第25-27页 |
| 2.2.3 谐振式微加速度传感器激励和检测原理 | 第27-29页 |
| 2.3 谐振式微加速度传感器结构分析 | 第29-32页 |
| 2.3.1 支撑梁的刚度系数 | 第29-30页 |
| 2.3.2 交叉轴灵敏度分析 | 第30-31页 |
| 2.3.3 谐振式微加速度传感器的结构仿真分析 | 第31-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 3 谐振式微加速度传感器工艺设计 | 第33-39页 |
| 3.1 谐振式微加速度传感器制作工艺流程 | 第33-35页 |
| 3.2 谐振式微加速度传感器版图参数设计 | 第35-38页 |
| 3.2.1 腐蚀深度与梁厚度关系 | 第35-37页 |
| 3.2.2 敏感单元尺寸设计 | 第37-38页 |
| 3.3 本章小结 | 第38-39页 |
| 4 谐振式微加速度传感器制作关键工艺研究 | 第39-61页 |
| 4.1 多晶硅掺杂均匀性研究 | 第39-44页 |
| 4.1.1 半导体扩散技术 | 第39-40页 |
| 4.1.2 多晶硅掺杂的均匀性 | 第40-44页 |
| 4.2 退火对Ti/Pt/Au引线欧姆接触的影响 | 第44-53页 |
| 4.2.1 金属-半导体接触 | 第44页 |
| 4.2.2 欧姆接触的影响因素 | 第44-47页 |
| 4.2.3 退火对Ti/Pt/Au引线欧姆接触的影响 | 第47-53页 |
| 4.3 深坑涂胶问题 | 第53-55页 |
| 4.4 无掩膜腐蚀 | 第55-57页 |
| 4.5 微谐振梁经腐蚀释放后的保护 | 第57-60页 |
| 4.6 本章小结 | 第60-61页 |
| 5 总结与展望 | 第61-63页 |
| 5.1 总结 | 第61-62页 |
| 5.2 展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 作者简介 | 第67页 |