电极压封控制系统研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-17页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第7页 |
| 1.2 热压设备的研究现状 | 第7-10页 |
| 1.3 温度控制的研究现状 | 第10-13页 |
| 1.4 压力控制的研究现状 | 第13-15页 |
| 1.5 本课题目标和研究内容 | 第15-17页 |
| 2 电极自动压封系统 | 第17-25页 |
| 2.1 电极自动铟封系统 | 第17-24页 |
| 2.1.1 铟热压法压封工艺概述 | 第17-19页 |
| 2.1.2 自动铟封系统设计难点 | 第19页 |
| 2.1.3 压封作业原理 | 第19-21页 |
| 2.1.4 系统硬件的连接关系 | 第21-24页 |
| 2.2 本章小节 | 第24-25页 |
| 3 系统控制单元的硬件组成 | 第25-36页 |
| 3.1 电极拾取与放置模块 | 第25-29页 |
| 3.1.1 作业机械手 | 第25-27页 |
| 3.1.2 真空吸附 | 第27-29页 |
| 3.2 腔体放置与对准模块 | 第29-32页 |
| 3.3 热压模块 | 第32-35页 |
| 3.3.1 加热头结构 | 第32页 |
| 3.3.2 温度控制单元硬件组成 | 第32-33页 |
| 3.3.3 压封力控制模块硬件组成及控制策略简介 | 第33-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 4 基于LabVIEW的控制系统的实现 | 第36-61页 |
| 4.0 自动铟封设备控制软件的编写流程 | 第36-44页 |
| 4.1 主控制程序代码实现 | 第44-46页 |
| 4.2 图像采集模块的代码实现 | 第46-48页 |
| 4.3 温度控制软件实现 | 第48-52页 |
| 4.4 压封力控制的软件实现 | 第52-57页 |
| 4.4.1 压封力采集的代码实现 | 第52-54页 |
| 4.4.2 压封力控制的代码实现 | 第54-57页 |
| 4.5 人机交互界面的设计 | 第57-60页 |
| 4.6 本章小节 | 第60-61页 |
| 5 自动铟封设备压封实验 | 第61-69页 |
| 5.1 铟封设备和控制系统技术指标 | 第61页 |
| 5.2 导轨重复性测量 | 第61-63页 |
| 5.3 温度控制精度测量 | 第63-64页 |
| 5.4 压力控制精度测量 | 第64-68页 |
| 5.5 本章小节 | 第68-69页 |
| 结论 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-76页 |
