| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-31页 |
| 1.1 等离子体概述 | 第9-11页 |
| 1.2 常见的低气压等离子体放电方式 | 第11-17页 |
| 1.2.1 容性耦合放电 | 第11-12页 |
| 1.2.2 感性耦合放电 | 第12-13页 |
| 1.2.3 波加热气体放电 | 第13-17页 |
| 1.3 螺旋波等离子体放电的发展与研究现状 | 第17-24页 |
| 1.4 本文研究的内容 | 第24-26页 |
| 参考文献 | 第26-31页 |
| 第二章 螺旋波等离子体放电诊断和材料表征方法 | 第31-45页 |
| 2.1 螺旋波等离子体放电诊断 | 第31-38页 |
| 2.1.1 发射光谱(OES) | 第31-35页 |
| 2.1.2 朗缪尔探针 | 第35-37页 |
| 2.1.3 质谱能谱分析仪(EQP) | 第37-38页 |
| 2.2 材料的表征方法 | 第38-43页 |
| 2.2.1 扫描电子显微镜(SEM) | 第40-41页 |
| 2.2.2 X射线衍射(XRD) | 第41页 |
| 2.2.3 X射线光电子能谱(XPS) | 第41-42页 |
| 2.2.4 拉曼(RAMAN) | 第42-43页 |
| 参考文献 | 第43-45页 |
| 第三章 射频功率和磁场强度对Ar/CH_4螺旋波等离子体放电特性的影响 | 第45-60页 |
| 3.1 螺旋波实验装置优化 | 第46-48页 |
| 3.2 射频功率对等离子体放电参数的影响 | 第48-53页 |
| 3.3 磁场强度对等离子体放电参数的影响 | 第53-59页 |
| 参考文献 | 第59-60页 |
| 第四章 Ar/CH_4螺旋波等离子体制备碳材料的气体放电特性研究 | 第60-78页 |
| 4.1 等离子体诊断 | 第62-70页 |
| 4.1.1 光谱诊断 | 第62-68页 |
| 4.1.2 质谱能谱诊断 | 第68-70页 |
| 4.2 碳材料薄膜的制备与材料表征 | 第70-74页 |
| 4.2.1 碳材料薄膜的制备 | 第70页 |
| 4.2.2 扫描电镜分析 | 第70-71页 |
| 4.2.3 拉曼分析 | 第71-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 第五章 总结和展望 | 第78-80页 |
| 攻读硕士期间公开发表的论文及科研成果 | 第80-82页 |
| 致谢 | 第82-84页 |