三光轴集成式单频激光干涉测量关键技术研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题研究的目的与意义 | 第9页 |
| 1.2 角位移与线位移干涉测量技术发展现状 | 第9-13页 |
| 1.2.1 多轴双频激光干涉测量技术 | 第10-11页 |
| 1.2.2 多轴单频激光干涉测量技术 | 第11-13页 |
| 1.3 单频激光非线性误差校正技术研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3.1 信号三差对非线性误差的影响 | 第13-14页 |
| 1.3.2 传统非线性误差校正方法的局限性分析 | 第14-15页 |
| 1.4 课题主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 三光轴单频激光干涉测量原理及影响因素分析 | 第17-26页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 三光轴单频激光干涉测量原理 | 第17-21页 |
| 2.2.1 线位移测量基本原理 | 第18-20页 |
| 2.2.2 角位移测量基本原理 | 第20-21页 |
| 2.3 激光光轴平行度对测量影响分析 | 第21-25页 |
| 2.3.1 余弦误差在线位移测量中的影响 | 第22-23页 |
| 2.3.2 余弦误差在角位移测量中的影响 | 第23-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 基于光开关的非线性误差校正方法 | 第26-32页 |
| 3.1 引言 | 第26页 |
| 3.2 基于光开关方法的基本原理分析 | 第26-29页 |
| 3.3 基于光开关的非线性误差校正的数学模型 | 第29-31页 |
| 3.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 第4章 三光轴集成式单频激光干涉测量系统设计 | 第32-53页 |
| 4.1 引言 | 第32页 |
| 4.2 三光轴分光结构设计 | 第32-38页 |
| 4.2.1 光束调节机构设计 | 第32-37页 |
| 4.2.2 三轴分光机构的设计 | 第37-38页 |
| 4.3 光开关结构实现的选型 | 第38-42页 |
| 4.3.1 基于双稳态的电子快门分析与选用 | 第38-39页 |
| 4.3.2 光开关上位机控制设计 | 第39-40页 |
| 4.3.3 基于光开关的系统工作流程 | 第40-42页 |
| 4.4 三光轴集成式单频激光干涉测量系统设计实现 | 第42-47页 |
| 4.4.1 三光轴集成式单频激光干涉测量系统设计 | 第42-45页 |
| 4.4.2 三光轴集成式单频激光干涉测量系统实现 | 第45-47页 |
| 4.5 信号采集与处理单元 | 第47-52页 |
| 4.5.1 探测信号电路设计与采集 | 第47-50页 |
| 4.5.2 基于LabVIEW的上位机设计 | 第50-52页 |
| 4.6 本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 三光轴集成式单频激光干涉测量实验测试 | 第53-70页 |
| 5.1 引言 | 第53页 |
| 5.2 三光轴激光平行性测试实验 | 第53-57页 |
| 5.2.1 激光分光平行性的检测 | 第53-55页 |
| 5.2.2 激光分光偏振态的检测 | 第55-57页 |
| 5.3 线位移测量系统实验 | 第57-62页 |
| 5.3.1 线位移分辨力测试 | 第57-59页 |
| 5.3.2 线位移测量范围测试 | 第59-62页 |
| 5.4 角位移测量系统实验 | 第62-69页 |
| 5.4.1 角位移分辨力测试 | 第62-65页 |
| 5.4.2 角位移测量范围测试 | 第65-69页 |
| 5.5 本章小结 | 第69-70页 |
| 结论 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其他成果 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
