基于相移干涉法的MEMS离面运动测量
| 中文摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 MEMS发展概况及背景 | 第9-10页 |
| 1.2 MEMS测量技术发展趋势 | 第10-12页 |
| 1.3 本文主要研究工作和总体结构 | 第12-15页 |
| 第二章 MEMS离面运动测试系统总体设计和原理 | 第15-23页 |
| 2.1 MEMS离面运动测试系统 | 第15-17页 |
| 2.2 离面运动测试原理 | 第17-18页 |
| 2.3 相移技术原理 | 第18-19页 |
| 2.4 相位图解包裹原理 | 第19-20页 |
| 2.5 声光调制器对激光的调制 | 第20-21页 |
| 2.6 同步控制原理 | 第21-23页 |
| 第三章 相移干涉原理及算法 | 第23-33页 |
| 3.1 干涉测量技术原理 | 第23-24页 |
| 3.2 相移干涉技术 | 第24-25页 |
| 3.3 相位提取算法 | 第25-26页 |
| 3.4 相移误差分析 | 第26-28页 |
| 3.5 相位值的校正 | 第28-29页 |
| 3.6 常见相位提取算法的比较 | 第29-32页 |
| 3.7 实验结果分析 | 第32-33页 |
| 第四章 相位图处理算法 | 第33-45页 |
| 4.1 相位图处理流程 | 第33-34页 |
| 4.2 系统噪声 | 第34-36页 |
| 4.2.1 影响条纹图质量的因素 | 第34页 |
| 4.2.2 条纹图降噪算法 | 第34-36页 |
| 4.3 相位解包裹算法 | 第36-42页 |
| 4.3.1 普通解包裹算法 | 第36-38页 |
| 4.3.2 畸变点判定 | 第38页 |
| 4.3.3 分割线算法 | 第38-40页 |
| 4.3.4 质量导引图算法 | 第40页 |
| 4.3.5 洪水填充法 | 第40-42页 |
| 4.4 时域相位解包裹 | 第42-43页 |
| 4.5 实验结果分析 | 第43-45页 |
| 第五章 MEMS离面运动测试系统设计实现和验证 | 第45-60页 |
| 5.1 MEMS离面运动测试系统硬件结构 | 第45-46页 |
| 5.2 系统设计要求及参数 | 第46-47页 |
| 5.3 硬件系统分析 | 第47-50页 |
| 5.3.1 硬件系统控制要求 | 第47-48页 |
| 5.3.2 时序分析 | 第48-50页 |
| 5.4 软件系统分析 | 第50-52页 |
| 5.4.1 基于MFC的软件系统 | 第50-51页 |
| 5.4.2 wm文件格式 | 第51-52页 |
| 5.5 MEMS振荡器测试与分析 | 第52-60页 |
| 5.5.1 MEMS振荡器发展概况及趋势 | 第52-53页 |
| 5.5.2 SI504可编程CMEMS振荡器 | 第53-56页 |
| 5.5.3 SI504测试结果及分析 | 第56-60页 |
| 第六章 总结与展望 | 第60-62页 |
| 6.1 总结 | 第60-61页 |
| 6.2 展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-67页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
