| 中文摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第9页 |
| 1.2 涂层技术概述 | 第9-13页 |
| 1.2.1 气相沉积技术 | 第9-10页 |
| 1.2.2 物理气相沉积技术(PVD) | 第10-11页 |
| 1.2.3 高功率脉冲磁控溅射技术(HiPMIS) | 第11-13页 |
| 1.3 涂层刀具及加工技术概述 | 第13-16页 |
| 1.3.1 刀具及高速切削技术发展现状 | 第13-15页 |
| 1.3.2 刀具涂层的发展 | 第15-16页 |
| 1.4 本课题研究方法 | 第16-18页 |
| 1.5 本课题主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第2章 实验过程 | 第19-29页 |
| 2.1 制备Zr-B-O-N涂层所用实验设备 | 第19-20页 |
| 2.2 制备Zr-B-O-N涂层所用材料和实验步骤 | 第20-22页 |
| 2.2.1 靶材及其布局 | 第20-21页 |
| 2.2.2 基片预处理及实验步骤 | 第21-22页 |
| 2.3 Zr-B-O-N涂层表征和性能测试 | 第22-28页 |
| 2.3.1 涂层微观结构及成分测试 | 第22-23页 |
| 2.3.2 涂层力学性能测试 | 第23-25页 |
| 2.3.3 涂层摩擦磨损性能测试 | 第25-27页 |
| 2.3.4 涂层热处理实验 | 第27-28页 |
| 2.4 Zr-B-O-N刀具涂层性能测试 | 第28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 Zr-B-O-N涂层的微观结构、力学性能及摩擦学行为分析 | 第29-42页 |
| 3.1 Zr-B-O-N涂层微观结构 | 第29-35页 |
| 3.1.1 Zr-B-O-N涂层沉积速率 | 第29-30页 |
| 3.1.2 Zr-B-O-N涂层成分 | 第30页 |
| 3.1.3 Zr-B-O-N涂层XRD | 第30-31页 |
| 3.1.4 Zr-B-O-N涂层表面和截面形貌 | 第31-35页 |
| 3.2 Zr-B-O-N涂层力学性能 | 第35-37页 |
| 3.2.1 Zr-B-O-N涂层残余应力 | 第35-36页 |
| 3.2.2 Zr-B-O-N涂层硬度与弹性模量 | 第36-37页 |
| 3.3 Zr-B-O-N涂层摩擦磨损性能 | 第37-40页 |
| 3.3.1 Zr-B-O-N涂层摩擦系数 | 第37-38页 |
| 3.3.2 Zr-B-O-N涂层磨损率 | 第38-39页 |
| 3.3.3 Zr-B-O-N涂层磨损形貌 | 第39-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-42页 |
| 第4章 Zr-B-O-N涂层热处理后微观结构、力学性能分析 | 第42-52页 |
| 4.1 不同氧气流量比沉积Zr-B-O-N涂层热处理 | 第42-45页 |
| 4.1.1 XRD | 第42-43页 |
| 4.1.2 表面和截面形貌 | 第43-44页 |
| 4.1.3 显微硬度 | 第44-45页 |
| 4.2 不同温度热处理后的Zr-B-O-N涂层 | 第45-51页 |
| 4.2.1 涂层成分 | 第45-46页 |
| 4.2.2 XRD | 第46-47页 |
| 4.2.3 表面和截面形貌 | 第47-49页 |
| 4.2.4 显微硬度 | 第49-50页 |
| 4.2.5 残余应力 | 第50-51页 |
| 4.3 本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 Zr-B-O-N刀具涂层制备及切削实验 | 第52-55页 |
| 5.1 刀具涂层制备 | 第52-53页 |
| 5.2 刀具涂层切削性能测试分析 | 第53-54页 |
| 5.3 本章小结 | 第54-55页 |
| 第6章 结论与展望 | 第55-57页 |
| 6.1 主要结论 | 第55页 |
| 6.2 未来展望 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 申请学位期间的研究成果及发表的论文 | 第64页 |
