石墨烯CVD法制备工艺优化及实现睑板腺热敷功能研究
摘要 | 第4-5页 |
Abstract | 第5-6页 |
第一章 绪论 | 第13-25页 |
1.1 引言 | 第13页 |
1.2 课题研究背景、目的和意义 | 第13-15页 |
1.3 国内外研究现状 | 第15-23页 |
1.4 课题研究内容及论文结构 | 第23-25页 |
第二章 石墨烯的CVD法制备 | 第25-33页 |
2.1 制备原理 | 第25-26页 |
2.1.1 基底的选择 | 第25页 |
2.1.2 碳源和载气的选择 | 第25-26页 |
2.2 实验装置及材料 | 第26-29页 |
2.2.1 实验设备及工具 | 第26-29页 |
2.2.2 实验材料 | 第29页 |
2.3 制备工艺简介 | 第29-31页 |
2.3.1 铜箔的预处理 | 第29-30页 |
2.3.2 系统预备 | 第30页 |
2.3.3 生长阶段 | 第30-31页 |
2.4 本章小结 | 第31-33页 |
第三章 石墨烯的转移和表征 | 第33-51页 |
3.1 石墨烯的表征方法 | 第33-39页 |
3.1.1 光学显微镜 | 第33-34页 |
3.1.2 扫描电子显微镜 | 第34页 |
3.1.3 拉曼光谱 | 第34-36页 |
3.1.4 原子力显微镜 | 第36-37页 |
3.1.5 其他表征方法 | 第37-39页 |
3.2 石墨烯样品的表征 | 第39-42页 |
3.2.1 表征方法及设备 | 第39页 |
3.2.2 光学显微镜表征结果 | 第39-40页 |
3.2.3 拉曼光谱表征结果 | 第40页 |
3.2.4 扫描电子显微镜表征结果 | 第40-42页 |
3.2.5 表征结果与讨论 | 第42页 |
3.3 石墨烯的转移方法 | 第42-46页 |
3.3.1 溶液刻蚀法 | 第43页 |
3.3.2 滤纸法 | 第43-44页 |
3.3.3 二甲基硅氧烷法 | 第44页 |
3.3.4 聚甲基丙烯酸甲酯法 | 第44-45页 |
3.3.5 静电膜法 | 第45页 |
3.3.6 石墨烯转移方法总结 | 第45-46页 |
3.4 石墨烯样品的转移 | 第46-47页 |
3.5 本章小结 | 第47-51页 |
第四章 铜箔上石墨烯CVD法制备工艺优化研究 | 第51-63页 |
4.1 铜箔的预处理 | 第51-54页 |
4.1.1 铜箔的清洗 | 第51-53页 |
4.1.2 铜箔的形态 | 第53-54页 |
4.2 生长温度 | 第54-56页 |
4.3 生长时间 | 第56-58页 |
4.4 生长阶段的气体流量 | 第58-60页 |
4.5 条件参数的最优化 | 第60-62页 |
4.6 本章小结 | 第62-63页 |
第五章 石墨烯实现睑板腺按摩仪气囊热敷的应用 | 第63-71页 |
5.1 睑板腺功能障碍及治疗 | 第63-64页 |
5.2 睑板腺按摩仪 | 第64-66页 |
5.3 石墨烯实现柔性气囊热敷 | 第66-69页 |
5.3.1 石墨烯加热电路设计 | 第66-67页 |
5.3.2 石墨烯与柔性气囊集成工艺 | 第67-69页 |
5.4 本章小结 | 第69-71页 |
第六章 总结展望 | 第71-73页 |
参考文献 | 第73-79页 |
致谢 | 第79-81页 |
攻读硕士期间的研究成果 | 第81-83页 |
附录 | 第83页 |