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石墨烯CVD法制备工艺优化及实现睑板腺热敷功能研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第一章 绪论第13-25页
    1.1 引言第13页
    1.2 课题研究背景、目的和意义第13-15页
    1.3 国内外研究现状第15-23页
    1.4 课题研究内容及论文结构第23-25页
第二章 石墨烯的CVD法制备第25-33页
    2.1 制备原理第25-26页
        2.1.1 基底的选择第25页
        2.1.2 碳源和载气的选择第25-26页
    2.2 实验装置及材料第26-29页
        2.2.1 实验设备及工具第26-29页
        2.2.2 实验材料第29页
    2.3 制备工艺简介第29-31页
        2.3.1 铜箔的预处理第29-30页
        2.3.2 系统预备第30页
        2.3.3 生长阶段第30-31页
    2.4 本章小结第31-33页
第三章 石墨烯的转移和表征第33-51页
    3.1 石墨烯的表征方法第33-39页
        3.1.1 光学显微镜第33-34页
        3.1.2 扫描电子显微镜第34页
        3.1.3 拉曼光谱第34-36页
        3.1.4 原子力显微镜第36-37页
        3.1.5 其他表征方法第37-39页
    3.2 石墨烯样品的表征第39-42页
        3.2.1 表征方法及设备第39页
        3.2.2 光学显微镜表征结果第39-40页
        3.2.3 拉曼光谱表征结果第40页
        3.2.4 扫描电子显微镜表征结果第40-42页
        3.2.5 表征结果与讨论第42页
    3.3 石墨烯的转移方法第42-46页
        3.3.1 溶液刻蚀法第43页
        3.3.2 滤纸法第43-44页
        3.3.3 二甲基硅氧烷法第44页
        3.3.4 聚甲基丙烯酸甲酯法第44-45页
        3.3.5 静电膜法第45页
        3.3.6 石墨烯转移方法总结第45-46页
    3.4 石墨烯样品的转移第46-47页
    3.5 本章小结第47-51页
第四章 铜箔上石墨烯CVD法制备工艺优化研究第51-63页
    4.1 铜箔的预处理第51-54页
        4.1.1 铜箔的清洗第51-53页
        4.1.2 铜箔的形态第53-54页
    4.2 生长温度第54-56页
    4.3 生长时间第56-58页
    4.4 生长阶段的气体流量第58-60页
    4.5 条件参数的最优化第60-62页
    4.6 本章小结第62-63页
第五章 石墨烯实现睑板腺按摩仪气囊热敷的应用第63-71页
    5.1 睑板腺功能障碍及治疗第63-64页
    5.2 睑板腺按摩仪第64-66页
    5.3 石墨烯实现柔性气囊热敷第66-69页
        5.3.1 石墨烯加热电路设计第66-67页
        5.3.2 石墨烯与柔性气囊集成工艺第67-69页
    5.4 本章小结第69-71页
第六章 总结展望第71-73页
参考文献第73-79页
致谢第79-81页
攻读硕士期间的研究成果第81-83页
附录第83页

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