| 中文摘要 | 第3-4页 |
| 英文摘要 | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-22页 |
| 1.1 研究背景、目的及意义 | 第8-10页 |
| 1.2 超振荡现象 | 第10页 |
| 1.3 超振荡器件国内外研究现状 | 第10-19页 |
| 1.4 有待亟需解决的问题 | 第19页 |
| 1.5 本文的研究目标和内容 | 第19-20页 |
| 1.6 本章小结 | 第20-22页 |
| 2 径向偏振光超振荡聚焦相关理论 | 第22-32页 |
| 2.1 径向偏振光 | 第22-23页 |
| 2.2 衍射的角谱理论 | 第23-26页 |
| 2.2.1 标量衍射理论 | 第23-25页 |
| 2.2.2 矢量角谱传播理论 | 第25-26页 |
| 2.3 径向偏振光的矢量角谱传播 | 第26-28页 |
| 2.4 粒子群算法 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-32页 |
| 3 径向偏振光超振荡聚焦器件设计与仿真 | 第32-56页 |
| 3.1 二值相位径向偏振光聚焦器件透射函数 | 第32页 |
| 3.2 径向偏振光入射光场参数的获取 | 第32-35页 |
| 3.3 基于粒子群算法和矢量角谱衍射的超振荡器件设计方法 | 第35-38页 |
| 3.4 径向偏振光超振荡聚焦器件优化设计结果 | 第38-43页 |
| 3.5 径向偏振光超振荡聚焦器件仿真 | 第43-50页 |
| 3.5.1 径向偏振光超振荡聚焦器件仿真实物模型 | 第44-45页 |
| 3.5.2 径向偏振光超振荡聚焦器件Comsol Multiphysics仿真结果 | 第45-48页 |
| 3.5.3 设计与Comsol Multiphysics仿真结果比较 | 第48-50页 |
| 3.6 结构参数对聚焦器件的影响 | 第50-55页 |
| 3.6.1 不同基底对聚焦器件的影响 | 第50-53页 |
| 3.6.2 氮化硅不同宽度和厚度对器件性能的影响 | 第53-55页 |
| 3.7 本章小结 | 第55-56页 |
| 4 径向偏振光超振荡聚焦器件的加工与测试 | 第56-74页 |
| 4.1 径向偏振光超振荡聚焦器件加工 | 第56-58页 |
| 4.1.1 透镜的结构参数与加工版图绘制 | 第56-57页 |
| 4.1.2 透镜的加工工艺流程 | 第57-58页 |
| 4.2 透镜扫描电镜表征 | 第58页 |
| 4.3 径向偏振光超振荡聚焦器件实验测试 | 第58-64页 |
| 4.3.1 超振荡器件测试系统 | 第59-61页 |
| 4.3.2 实验测试结果 | 第61-64页 |
| 4.4 测量结果分析 | 第64-73页 |
| 4.4.1 测试结果与Comsol Multiphysics比较 | 第64-67页 |
| 4.4.2 误差分析 | 第67-73页 |
| 4.5 本章小结 | 第73-74页 |
| 5 工作总结与展望 | 第74-76页 |
| 5.1 论文工作总结 | 第74-75页 |
| 5.2 展望 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 附录 | 第82-90页 |
| A. 作者在攻读硕士学位论文期间发表的论文目录 | 第82页 |
| B. 径向偏振光超振荡聚焦器件结构参数（器件半径 500λ） | 第82-90页 |
