| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第12-16页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第12-13页 |
| 1.2 论文结构安排 | 第13-15页 |
| 参考文献 | 第15-16页 |
| 第二章 光通信中的零偏压高速大功率光探测器 | 第16-38页 |
| 2.1 光通信中光探测器概述 | 第16-20页 |
| 2.2 光通信中零偏压下高速大功率UTC-PD的研究进展 | 第20-27页 |
| 2.2.1 零偏压下高速UTC-PD的研究进展 | 第20-23页 |
| 2.2.2 大功率UTC-PD的研究进展 | 第23-27页 |
| 2.3 UTC-PD在零偏压下的工作原理 | 第27-29页 |
| 2.4 UTC-PD的性能参数 | 第29-32页 |
| 2.4.1 响应速度和带宽 | 第29-30页 |
| 2.4.2 响应度和量子效率 | 第30-31页 |
| 2.4.3 暗电流和噪声特性 | 第31-32页 |
| 2.4.4 1dB压缩点和饱和电流 | 第32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 参考文献 | 第33-38页 |
| 第三章 零偏压下高速大功率UTC-PD优化设计和理论分析 | 第38-48页 |
| 3.1 提高UTC-PD性能的优化设计 | 第38-44页 |
| 3.1.1 吸收层的优化设计 | 第38-40页 |
| 3.1.2 崖层的优化设计 | 第40-41页 |
| 3.1.3 收集层的优化设计 | 第41-44页 |
| 3.2 UTC-PD结构对其性能影响的理论分析 | 第44-45页 |
| 3.2.1 高速响应特性的理论分析 | 第44-45页 |
| 3.2.2 大功率特性的理论分析 | 第45页 |
| 3.3 本章小结 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-48页 |
| 第四章 入射光强对零偏压下UTC-PD性能影响的研究 | 第48-58页 |
| 4.1 入射光强对零偏压下UTC-PD高速性能的影响 | 第48-49页 |
| 4.2 入射光强对零偏压下UTC-PD饱和输出功率的影响 | 第49-50页 |
| 4.3 入射光强对零偏压UTC-PD性能影响的理论分析 | 第50-53页 |
| 4.4 零偏压下UTC-PD保持高速线性响应的研究 | 第53-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-58页 |
| 第五章 零偏压下DBR-UTC-PD的性能研究 | 第58-66页 |
| 5.1 集成型UTC-PD的研究概述 | 第58-60页 |
| 5.2 集成DBR反射镜对零偏压下UTC-PD性能的影响 | 第60-61页 |
| 5.3 DBR-UTC-PD性能提升的理论分析 | 第61-64页 |
| 5.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-66页 |
| 第六章 UTC-PD的后工艺制备与性能测试 | 第66-80页 |
| 6.1 UTC-PD的外延生长结构 | 第66-67页 |
| 6.2 UTC-PD的后工艺制备 | 第67-70页 |
| 6.3 UTC-PD的性能测试 | 第70-75页 |
| 6.3.1 电极的欧姆接触 | 第71-72页 |
| 6.3.2 暗电流测试 | 第72-73页 |
| 6.3.3 响应度测试 | 第73-74页 |
| 6.3.4 3dB带宽测试 | 第74-75页 |
| 6.4 UTC-PD集成DBR反射镜后的响应度测试 | 第75-77页 |
| 6.5 本章小结 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80-82页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第82页 |
