基于微纳结构的偏振探测技术研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第8-11页 |
| 1.1 引言 | 第8页 |
| 1.2 国内外发展现状 | 第8-9页 |
| 1.3 研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.4 论文安排 | 第10-11页 |
| 第二章 微纳光栅偏振探测理论基础研究 | 第11-18页 |
| 2.1 引言 | 第11页 |
| 2.2 偏振探测的机理 | 第11-12页 |
| 2.3 纳米光栅的工作原理 | 第12-14页 |
| 2.4 偏振片的设计与仿真 | 第14-17页 |
| 2.4.1 微纳偏振片的结构设计 | 第14-15页 |
| 2.4.2 微纳偏振片的仿真分析 | 第15-17页 |
| 2.5 本章小结 | 第17-18页 |
| 第三章 微偏振片阵列制备 | 第18-26页 |
| 3.1 引言 | 第18页 |
| 3.2 电子束曝光技术 | 第18-20页 |
| 3.3 离子束刻蚀技术 | 第20-22页 |
| 3.4 微偏振片阵列制备 | 第22-26页 |
| 3.5 本章小结 | 第26页 |
| 第四章 偏振片的性能检测及分析 | 第26-35页 |
| 4.1 引言 | 第26页 |
| 4.2 微纳结构偏振阵列的性能检测 | 第26-29页 |
| 4.3 微偏振片阵列性能参数分析 | 第29-31页 |
| 4.4 光栅结构参数对探测特性的影响 | 第31-35页 |
| 4.4.1 光栅深度的影响 | 第31-32页 |
| 4.4.2 光栅周期的影响 | 第32-34页 |
| 4.4.3 光栅占空比的影响 | 第34-35页 |
| 4.5 本章小结 | 第35页 |
| 第五章 偏振探测系统的设计与偏振成像分析 | 第35-38页 |
| 5.1 引言 | 第35-36页 |
| 5.2 偏振探测系统的设计 | 第36页 |
| 5.3 偏振成像特性分析 | 第36-38页 |
| 5.4 微纳偏振探测技术的应用前景 | 第38页 |
| 5.5 本章小结 | 第38页 |
| 第六章 结论与展望 | 第38-41页 |
| 6.1 结论 | 第38-39页 |
| 6.2 展望 | 第39-41页 |
| 参考文献 | 第41-43页 |
| 作者简介及科研成果 | 第43-44页 |
| 致谢 | 第44页 |
