| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-22页 |
| 1.1 磁致伸缩概述 | 第9-12页 |
| 1.1.1 磁致伸缩效应 | 第9-10页 |
| 1.1.2 磁致伸缩产生机理及其唯象理论 | 第10-12页 |
| 1.1.3 磁致伸缩的量子理论 | 第12页 |
| 1.2 磁致伸缩材料的简介 | 第12-16页 |
| 1.2.1 磁致伸缩材料的发展过程 | 第12-13页 |
| 1.2.2 磁致伸缩材料的分类 | 第13-14页 |
| 1.2.3 磁致伸缩材料的应用 | 第14-16页 |
| 1.3 新型Fe-Ga系磁致伸缩材料的研究进展 | 第16-21页 |
| 1.3.1 Fe-Ga系磁致伸缩块体材料的发展状况 | 第16-19页 |
| 1.3.2 Fe-Ga系磁致伸缩薄膜材料的发展状况 | 第19-21页 |
| 1.4 本论文研究的目的、意义、内容及创新点 | 第21-22页 |
| 1.4.1 本论文研究的目的、意义 | 第21页 |
| 1.4.2 本论文研究的内容、创新点 | 第21-22页 |
| 第二章 实验研究方法 | 第22-35页 |
| 2.1 靶材的选择 | 第22页 |
| 2.2 衬底的选择与处理 | 第22-24页 |
| 2.2.1 衬底的选择 | 第22-23页 |
| 2.2.2 衬底的预处理 | 第23-24页 |
| 2.3 薄膜的制备 | 第24-27页 |
| 2.3.1 离子束溅射沉积法的原理 | 第24页 |
| 2.3.2 稳恒磁场发生器 | 第24-26页 |
| 2.3.3 薄膜的制备 | 第26-27页 |
| 2.4 薄膜厚度与沉积速率计算 | 第27-29页 |
| 2.5 薄膜的真空退火处理 | 第29页 |
| 2.6 薄膜成分、结构以及杨氏模量的测试 | 第29-31页 |
| 2.6.1 薄膜成分测试 | 第29页 |
| 2.6.2 薄膜表面形貌观测 | 第29页 |
| 2.6.3 薄膜XRD测试 | 第29-30页 |
| 2.6.4 薄膜磁畴结构观测 | 第30页 |
| 2.6.5 薄膜杨氏模量的测试 | 第30-31页 |
| 2.7 薄膜磁性能的测定 | 第31-35页 |
| 2.7.1 软磁性能的测定 | 第31-32页 |
| 2.7.2 静态磁伸性能的测定 | 第32-33页 |
| 2.7.3 动态振动特性测试 | 第33-35页 |
| 第三章 Fe-Ga-Al-Y MF表面形貌、微结构、成分、磁畴结构与杨氏模量分析 | 第35-42页 |
| 3.1 薄膜的沉积速率及厚度 | 第35页 |
| 3.2 薄膜的XRD分析 | 第35-36页 |
| 3.3 Fe-Ga-Al-Y MF表面形貌、成分分析 | 第36-37页 |
| 3.4 薄膜的磁畴结构分析 | 第37-39页 |
| 3.5 薄膜的杨氏模量E_f分析 | 第39-41页 |
| 3.5.1 单层膜杨氏模量E_f的测试及分析 | 第39-41页 |
| 3.5.2 多层膜杨氏模量E_f的测试及分析 | 第41页 |
| 3.6 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 稳恒磁场环境下Fe-Ga-Al-Y MF的制备及其性能研究 | 第42-51页 |
| 4.1 成膜时外加稳恒磁场的方向对Fe-Ga-Al-Y MF性能的影响 | 第42-46页 |
| 4.1.1 成膜时外加稳恒磁场的方向对Fe-Ga-Al-Y MF软磁性能的影响 | 第42-44页 |
| 4.1.2 成膜时外加稳恒磁场的方向对Fe-Ga-Al-Y MF静态磁致伸缩性能的影响 | 第44-45页 |
| 4.1.3 成膜时外加稳恒磁场的方向对Fe-Ga-Al-Y MF振动特性的影响 | 第45-46页 |
| 4.2 成膜时外加稳恒磁场的大小对Fe-Ga-Al-Y MF性能的影响 | 第46-50页 |
| 4.2.1 成膜时外加稳恒磁场的大小对Fe-Ga-Al-Y MF软磁性能的影响 | 第47-48页 |
| 4.2.2 成膜时外加稳恒磁场的大小对Fe-Ga-Al-Y MF静态磁致伸缩性能的影响 | 第48-49页 |
| 4.2.3 成膜时外加稳恒磁场的大小对Fe-Ga-Al-Y MF振动特性的影响 | 第49-50页 |
| 4.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 真空退火对稳恒磁场环境下制备的Fe-Ga-Al-Y MF性能的影响 | 第51-58页 |
| 5.1 真空退火对稳恒磁场环境下制备的Fe-Ga-Al-Y MF软磁特性的影响 | 第51-53页 |
| 5.2 真空退火对稳恒磁场环境下制备的Fe-Ga-Al-Y MF静态磁致伸缩性能的影响 | 第53-56页 |
| 5.3 真空退火对稳恒磁场环境下制备的Fe-Ga-Al-Y MF振动特性的影响 | 第56-57页 |
| 5.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 第六章 不同组态的Fe-Ga-Al-Y/TbDy-Fe多层膜的制备及其性能研究 | 第58-74页 |
| 6.1 TbDy-Fe层厚度对不同组态多层膜性能的影响 | 第58-65页 |
| 6.1.1 TbDy-Fe层的厚度对不同组态多层膜软磁性能的影响 | 第58-62页 |
| 6.1.2 TbDy-Fe层的厚度对不同组态多层膜静态磁致伸缩性能的影响 | 第62-63页 |
| 6.1.3 TbDy-Fe层的厚度对不同组态多层膜振动特性的影响 | 第63-65页 |
| 6.2 Fe-Ga-Al-Y层厚度对不同组态多层膜性能的影响 | 第65-72页 |
| 6.2.1 Fe-Ga-Al-Y层的厚度对不同组态多层膜软磁性能的影响 | 第65-68页 |
| 6.2.2 Fe-Ga-Al-Y层的厚度对不同组态多层膜静态磁致伸缩性能的影响 | 第68-70页 |
| 6.2.3 Fe-Ga-Al-Y层的厚度对不同组态多层膜振动特性的影响 | 第70-72页 |
| 6.3 本章小结 | 第72-74页 |
| 第七章 Fe-Ga-Al-Y MF与Fe-Ga-Al-Y/TbDy-Fe多层膜磁性能的对比 | 第74-78页 |
| 7.1 Fe-Ga-Al-Y MF与Fe-Ga-Al-Y/TbDy-Fe多层膜软磁性能的对比 | 第74-75页 |
| 7.2 Fe-Ga-Al-Y MF与Fe-Ga-Al-Y/TbDy-Fe多层膜静态磁致伸缩性能的对比 | 第75-76页 |
| 7.3 Fe-Ga-Al-Y MF与Fe-Ga-Al-Y /TbDy-Fe多层膜振动特性的对比 | 第76-77页 |
| 7.4 本章小结 | 第77-78页 |
| 结论 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-86页 |
| 致谢 | 第86-87页 |
| 个人简历 | 第87页 |
| 在学期间研究成果及发表的学术论文 | 第87页 |
