| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 热释电探测器 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-12页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第12-13页 |
| 第二章 钽酸锂热释电探测器结构仿真 | 第13-26页 |
| 2.1 热释电THz探测器工作原理 | 第13页 |
| 2.2 选择探测器结构 | 第13-14页 |
| 2.3 建立仿真模型 | 第14-16页 |
| 2.4 仿真结果与分析 | 第16-24页 |
| 2.5 本章小结 | 第24-26页 |
| 第三章 钽酸锂晶体材料减薄工艺 | 第26-33页 |
| 3.1 化学机械抛光（CMP） | 第26-30页 |
| 3.1.1 温度对钽酸锂腐蚀速度的影响 | 第26-27页 |
| 3.1.2 氧化剂对钽酸锂腐蚀速度的影响 | 第27-28页 |
| 3.1.3 腐蚀液PH值对钽酸锂腐蚀速度的影响 | 第28页 |
| 3.1.4 稳定剂的选择 | 第28-29页 |
| 3.1.5 钽酸锂晶体表面形貌测试 | 第29-30页 |
| 3.2 反应离子刻蚀 | 第30-31页 |
| 3.3 本章小结 | 第31-33页 |
| 第四章 太赫兹吸收层制备 | 第33-44页 |
| 4.1 碳纳米管环氧树脂薄膜制备 | 第33-34页 |
| 4.2 碳纳米管聚氨酯薄膜制备 | 第34-39页 |
| 4.2.1 正方形 2cm×2cm小基片碳纳米管聚氨酯薄膜制备 | 第34-37页 |
| 4.2.2 二寸或四寸圆片碳纳米管聚氨酯薄膜制备 | 第37-38页 |
| 4.2.3 碳纳米管聚氨酯薄膜THz-TDS测试 | 第38-39页 |
| 4.3 改进碳纳米管薄膜的平整度 | 第39-41页 |
| 4.4 吸收率测试 | 第41-43页 |
| 4.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 第五章 线列太赫兹探测器制备及测试 | 第44-53页 |
| 5.1 线列太赫兹探测器结构版图设计 | 第44-46页 |
| 5.2 线列阵列制备工艺研究 | 第46-48页 |
| 5.3 热释电线列探测器件测试 | 第48-52页 |
| 5.3.1 测试系统 | 第48-49页 |
| 5.3.2 测试原理 | 第49-50页 |
| 5.3.3 测试步骤 | 第50-51页 |
| 5.3.4 测试结果 | 第51-52页 |
| 5.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 第六章 总结与展望 | 第53-55页 |
| 6.1 主要结论 | 第53-54页 |
| 6.2 前景展望 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |