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线列结构热释电探测器工艺及性能研究

摘要第5-6页
ABSTRACT第6页
第一章 绪论第9-13页
    1.1 热释电探测器第9-10页
    1.2 国内外研究现状第10-12页
    1.3 主要研究内容第12-13页
第二章 钽酸锂热释电探测器结构仿真第13-26页
    2.1 热释电THz探测器工作原理第13页
    2.2 选择探测器结构第13-14页
    2.3 建立仿真模型第14-16页
    2.4 仿真结果与分析第16-24页
    2.5 本章小结第24-26页
第三章 钽酸锂晶体材料减薄工艺第26-33页
    3.1 化学机械抛光(CMP)第26-30页
        3.1.1 温度对钽酸锂腐蚀速度的影响第26-27页
        3.1.2 氧化剂对钽酸锂腐蚀速度的影响第27-28页
        3.1.3 腐蚀液PH值对钽酸锂腐蚀速度的影响第28页
        3.1.4 稳定剂的选择第28-29页
        3.1.5 钽酸锂晶体表面形貌测试第29-30页
    3.2 反应离子刻蚀第30-31页
    3.3 本章小结第31-33页
第四章 太赫兹吸收层制备第33-44页
    4.1 碳纳米管环氧树脂薄膜制备第33-34页
    4.2 碳纳米管聚氨酯薄膜制备第34-39页
        4.2.1 正方形 2cm×2cm小基片碳纳米管聚氨酯薄膜制备第34-37页
        4.2.2 二寸或四寸圆片碳纳米管聚氨酯薄膜制备第37-38页
        4.2.3 碳纳米管聚氨酯薄膜THz-TDS测试第38-39页
    4.3 改进碳纳米管薄膜的平整度第39-41页
    4.4 吸收率测试第41-43页
    4.5 本章小结第43-44页
第五章 线列太赫兹探测器制备及测试第44-53页
    5.1 线列太赫兹探测器结构版图设计第44-46页
    5.2 线列阵列制备工艺研究第46-48页
    5.3 热释电线列探测器件测试第48-52页
        5.3.1 测试系统第48-49页
        5.3.2 测试原理第49-50页
        5.3.3 测试步骤第50-51页
        5.3.4 测试结果第51-52页
    5.4 本章小结第52-53页
第六章 总结与展望第53-55页
    6.1 主要结论第53-54页
    6.2 前景展望第54-55页
致谢第55-56页
参考文献第56-59页

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