| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-25页 |
| 1.1 论文的研究背景与意义 | 第11-12页 |
| 1.2 压电微动工作台的建模与控制研究现状 | 第12-21页 |
| 1.2.1 压电微动工作台的数学模型研究现状 | 第12-18页 |
| 1.2.2 压电微动工作台控制技术研究现状 | 第18-21页 |
| 1.3 论文的研究目的和内容 | 第21-25页 |
| 第二章 压电微动工作台系统实验平台及相关特性分析 | 第25-45页 |
| 2.1 压电微定位系统组成 | 第25-26页 |
| 2.2 压电微动工作台 | 第26-33页 |
| 2.2.1 压电陶瓷驱动器 | 第27-31页 |
| 2.2.2 柔性铰链支撑导向机构 | 第31-33页 |
| 2.3 压电控制器 | 第33-35页 |
| 2.4 压电微动工作台相关特性测试 | 第35-44页 |
| 2.4.1 实验平台 | 第35页 |
| 2.4.2 上位机数据采集程序 | 第35-36页 |
| 2.4.3 重复性试验 | 第36-37页 |
| 2.4.4 压电微动工作台蠕变特性测试 | 第37-39页 |
| 2.4.5 压电微动工作台的输入电压实验 | 第39-44页 |
| 2.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 第三章 基于动态迟滞特性的压电微动工作台复合模型 | 第45-61页 |
| 3.1 压电微动工作台的内部工作机制 | 第45-47页 |
| 3.2 压电微动工作台的数学模型 | 第47-51页 |
| 3.2.1 压电微动工作台的迟滞模型 | 第47-49页 |
| 3.2.2 压电微动工作台的线性比例动态模型 | 第49-50页 |
| 3.2.3 压电微动工作台的动态迟滞复合模型 | 第50-51页 |
| 3.3 压电微动工作台动态迟滞复合模型建模过程 | 第51-60页 |
| 3.3.1 二阶系统参数的辨识 | 第51-53页 |
| 3.3.2 迟滞非线性H~+[*]的辨识 | 第53-57页 |
| 3.3.3 基于实验的参数辩识 | 第57-60页 |
| 3.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 第四章 压电微动工作台的CMAC-PID复合控制方案 | 第61-83页 |
| 4.1 CMAC网络 | 第61-68页 |
| 4.1.1 CMAC网络简介 | 第61页 |
| 4.1.2 CMAC网络的结构 | 第61-63页 |
| 4.1.3 CMAC网络的工作原理 | 第63-68页 |
| 4.1.4 CMAC网络的学习算法 | 第68页 |
| 4.2 CMAC-PID控制方案的设计 | 第68-70页 |
| 4.3 压电微动工作台的CMAC-PID复合控制仿真与结果分析 | 第70-76页 |
| 4.3.1 PID参数整定 | 第70-74页 |
| 4.3.2 压电微动工作台单点控制仿真分析 | 第74-76页 |
| 4.4 压电微动工作台控制实验与结果分析 | 第76-82页 |
| 4.4.1 微动工作台上位机控制程序 | 第76-79页 |
| 4.4.2 控制实验与结果分析 | 第79-82页 |
| 4.5 本章小结 | 第82-83页 |
| 第五章 总结与展望 | 第83-85页 |
| 5.1 总结 | 第83-84页 |
| 5.2 展望 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85-87页 |
| 参考文献 | 第87-93页 |
| 附录：在学期间的研究成果 | 第93页 |