| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-18页 |
| ·衍射光栅概述 | 第11页 |
| ·衍射光栅制造技术发展现状 | 第11-13页 |
| ·刻划光栅 | 第11-12页 |
| ·全息光栅 | 第12-13页 |
| ·直写光栅 | 第13页 |
| ·灰度掩模 | 第13页 |
| ·激光直写技术研究现状 | 第13-16页 |
| ·国外研究现状 | 第14-15页 |
| ·国内研究现状 | 第15-16页 |
| ·本文的研究目标和组织结构 | 第16-18页 |
| ·本文的研究目标 | 第16页 |
| ·本文的组织结构 | 第16-18页 |
| 第2章 偏振直写系统 | 第18-45页 |
| ·典型的激光直写系统 | 第18-23页 |
| ·直角坐标系统 | 第18-19页 |
| ·极坐标系统 | 第19-20页 |
| ·直角坐标与极坐标组合系统 | 第20-21页 |
| ·双光束直写系统 | 第21页 |
| ·逐图曝光系统 | 第21-22页 |
| ·灰度掩模并行激光直写系统 | 第22-23页 |
| ·偏振调制技术 | 第23-33页 |
| ·偏振光 | 第23-24页 |
| ·光的双折射 | 第24-27页 |
| ·偏振调制技术 | 第27-32页 |
| ·机械式调制法 | 第28页 |
| ·光弹调制法 | 第28-29页 |
| ·电光调制法 | 第29-32页 |
| ·电光调制器 | 第32-33页 |
| ·偏振直写系统的工作模式 | 第33-35页 |
| ·偏振直写系统的基本结构 | 第35-39页 |
| ·偏振直写光路 | 第35-37页 |
| ·圆对称偏振直写光路 | 第37-38页 |
| ·聚焦检测光路 | 第38-39页 |
| ·样品台二维平动控制模块 | 第39页 |
| ·物镜升降控制模块 | 第39页 |
| ·偏振直写系统的控制部分 | 第39-42页 |
| ·偏振直写系统的主要性能 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第3章 偶氮苯聚合物 | 第45-57页 |
| ·偶氮苯聚合物的研究背景 | 第45-46页 |
| ·偶氮苯聚合物的光致异构特性 | 第46-48页 |
| ·氢键自组装的偶氮苯聚合物 | 第48-54页 |
| ·聚合物的制备与表征 | 第49-51页 |
| ·薄膜的制备与表征 | 第51-53页 |
| ·光致双折射特性检测 | 第53-54页 |
| ·刻写特性的研究 | 第54-56页 |
| ·AzoCN 的光刻实验 | 第54-55页 |
| ·pAzopy/(AzoCN)x 的光刻实验 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第4章 衍射光栅的设计与制作 | 第57-64页 |
| ·AzoCN 制作的光栅 | 第57-59页 |
| ·振幅型光栅 | 第57页 |
| ·光强调制的光栅 | 第57-58页 |
| ·偏振调制的光栅 | 第58-59页 |
| ·pAzopy/(AzoCN)_(1.0)制作的光栅 | 第59-62页 |
| ·振幅型光栅 | 第59-60页 |
| ·网状光栅 | 第60-61页 |
| ·稳定性试验 | 第61页 |
| ·组合调制的光栅 | 第61-62页 |
| ·pAzopy/(AzoCN)x 系列对比试验 | 第62页 |
| ·多种材料刻写实验对比 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第5章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 在读期间发表论文情况 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |