首页--工业技术论文--自动化技术、计算机技术论文--自动化技术及设备论文--自动化元件、部件论文--发送器(变换器)、传感器论文

基于多晶硅纳米膜的角速度敏感结构设计

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第1章 绪论第9-18页
    1.1 引言第9-10页
    1.2 角速度敏感结构的发展现状及局限性第10-16页
    1.3 角速度敏感结构的主要设计指标第16-17页
    1.4 论文的主要工作内容第17-18页
第2章 角速度敏感结构工作原理第18-31页
    2.1 角速度敏感结构的基本原理第18-23页
        2.1.1 哥氏效应原理第18-19页
        2.1.2 角速度敏感结构的动力学分析第19-23页
    2.2 角速度敏感结构的工作原理第23-30页
        2.2.1 角速度敏感结构的静电驱动原理第24-28页
        2.2.2 角速度敏感结构的检测原理第28-30页
    2.3 本章小结第30-31页
第3章 角速度敏感结构的设计优化第31-45页
    3.1 角速度敏感结构设计思路第31-32页
    3.2 应变电阻设计第32-35页
        3.2.1 多晶硅纳米薄膜特性第32-33页
        3.2.2 应变电阻尺寸设计第33-35页
    3.3 角速度敏感结构设计优化第35-39页
    3.4 角速度敏感结构工艺流程第39-44页
    3.5 本章小结第44-45页
第4章 角速度敏感结构的有限元仿真分析第45-60页
    4.1 振动频率分析第45-47页
    4.2 过载能力分析第47-49页
    4.3 应变电阻位置分析第49-51页
    4.4 角速度敏感结构的阻尼分析第51-55页
        4.4.1 驱动方向阻尼分析第51-53页
        4.4.2 检测方向阻尼分析第53-55页
    4.5 角速度敏感结构工作状态的模拟仿真分析第55-58页
    4.6 角速度敏感结构的满量程输出电压及灵敏度计算第58页
    4.7 本章小结第58-60页
第5章 结论第60-61页
参考文献第61-64页
在学研究成果第64-65页
致谢第65页

论文共65页,点击 下载论文
上一篇:单目视觉三维测量在机器人分拣系统中的应用
下一篇:综合敷设条件下电力电缆载流量分析系统设计