| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 角速度敏感结构的发展现状及局限性 | 第10-16页 |
| 1.3 角速度敏感结构的主要设计指标 | 第16-17页 |
| 1.4 论文的主要工作内容 | 第17-18页 |
| 第2章 角速度敏感结构工作原理 | 第18-31页 |
| 2.1 角速度敏感结构的基本原理 | 第18-23页 |
| 2.1.1 哥氏效应原理 | 第18-19页 |
| 2.1.2 角速度敏感结构的动力学分析 | 第19-23页 |
| 2.2 角速度敏感结构的工作原理 | 第23-30页 |
| 2.2.1 角速度敏感结构的静电驱动原理 | 第24-28页 |
| 2.2.2 角速度敏感结构的检测原理 | 第28-30页 |
| 2.3 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 角速度敏感结构的设计优化 | 第31-45页 |
| 3.1 角速度敏感结构设计思路 | 第31-32页 |
| 3.2 应变电阻设计 | 第32-35页 |
| 3.2.1 多晶硅纳米薄膜特性 | 第32-33页 |
| 3.2.2 应变电阻尺寸设计 | 第33-35页 |
| 3.3 角速度敏感结构设计优化 | 第35-39页 |
| 3.4 角速度敏感结构工艺流程 | 第39-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 角速度敏感结构的有限元仿真分析 | 第45-60页 |
| 4.1 振动频率分析 | 第45-47页 |
| 4.2 过载能力分析 | 第47-49页 |
| 4.3 应变电阻位置分析 | 第49-51页 |
| 4.4 角速度敏感结构的阻尼分析 | 第51-55页 |
| 4.4.1 驱动方向阻尼分析 | 第51-53页 |
| 4.4.2 检测方向阻尼分析 | 第53-55页 |
| 4.5 角速度敏感结构工作状态的模拟仿真分析 | 第55-58页 |
| 4.6 角速度敏感结构的满量程输出电压及灵敏度计算 | 第58页 |
| 4.7 本章小结 | 第58-60页 |
| 第5章 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 在学研究成果 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65页 |