| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 课题背景和研究意义 | 第9页 |
| 1.2 多自由度定位平台的研究现状 | 第9-17页 |
| 1.2.1 平面电机的研究现状 | 第10-11页 |
| 1.2.2 平面电机驱动的多自由度定位平台的研究现状 | 第11-17页 |
| 1.3 平面电机驱动的多自由度定位平台的研究现状综述 | 第17-18页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第2章 改进Y形平面电机控制方法的设计与优化 | 第20-37页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 改进Y形平面电机的基本模型 | 第20-23页 |
| 2.3 改进Y形平面电机的控制算法设计 | 第23-26页 |
| 2.3.1 改进Y形平面电机耦合机理分析 | 第23-25页 |
| 2.3.2 改进Y形平面电机解耦算法设计 | 第25-26页 |
| 2.4 改进Y形平面电机出力特性的优化 | 第26-35页 |
| 2.4.1 动子转动对出力特性的影响及其补偿方法 | 第27-32页 |
| 2.4.2 反电动势对出力特性的影响及其补偿方法 | 第32-35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-37页 |
| 第3章 平面电机热特性分析 | 第37-48页 |
| 3.1 引言 | 第37页 |
| 3.2 平面电机冷却系统设计 | 第37-38页 |
| 3.3 平面电机热特性计算与仿真 | 第38-45页 |
| 3.3.1 冷却结构的参数设计与仿真 | 第39-42页 |
| 3.3.2 平面电机温度场的仿真分析 | 第42-44页 |
| 3.3.3 温升引起的平面电机推力波动 | 第44-45页 |
| 3.4 平面电机驱动单元的温升及冷却实验 | 第45-46页 |
| 3.5 本章小结 | 第46-48页 |
| 第4章 定位平台运动实验与分析 | 第48-60页 |
| 4.1 引言 | 第48页 |
| 4.2 定位平台行程测试实验 | 第48-50页 |
| 4.2.1 定位平台Y方向运动行程测试实验 | 第48-49页 |
| 4.2.2 定位平台X方向运动行程测试实验 | 第49页 |
| 4.2.3 定位平台Rz方向运动行程测试实验 | 第49-50页 |
| 4.3 定位平台位置分辨力测试实验 | 第50-52页 |
| 4.3.1 定位平台Y方向位置分辨力实验 | 第50-51页 |
| 4.3.2 定位平台X方向位置分辨力实验 | 第51页 |
| 4.3.3 定位平台Rz方向位置分辨力实验 | 第51-52页 |
| 4.4 定位平台运动加速度测试实验 | 第52-55页 |
| 4.4.1 定位平台Y方向运动加速度测试实验 | 第52-54页 |
| 4.4.2 定位平台X方向运动加速度测试实验 | 第54-55页 |
| 4.5 定位平台运动耦合情况实验 | 第55-58页 |
| 4.6 定位平台二维运动实验 | 第58-59页 |
| 4.7 本章小结 | 第59-60页 |
| 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-66页 |
| 致谢 | 第66页 |