Sc掺杂ZnO薄膜的绒面结构研究
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 目录 | 第11-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-24页 |
| 1.1 背景概述 | 第14-15页 |
| 1.1.1 太阳能电池的发展 | 第14页 |
| 1.1.2 透明导电膜 | 第14-15页 |
| 1.2 ZnO 的性质及应用 | 第15-18页 |
| 1.2.1 ZnO 的基本结构 | 第15-16页 |
| 1.2.2 ZnO 的光学性质 | 第16-17页 |
| 1.2.3 ZnO 的电学性质 | 第17页 |
| 1.2.4 ZnO 的其他性质 | 第17-18页 |
| 1.3 ZnO 的制备手段 | 第18-20页 |
| 1.3.1 磁控溅射法 | 第18-19页 |
| 1.3.2 脉冲激光沉积法 | 第19页 |
| 1.3.3 金属有机化学气相沉积 | 第19-20页 |
| 1.3.4 溶胶-凝胶法（Sol-gel） | 第20页 |
| 1.4 绒面 ZnO 基透明导电膜 | 第20-22页 |
| 1.5 论文立题依据及研究内容 | 第22-24页 |
| 1.5.1 立题依据 | 第22-24页 |
| 第二章 薄膜的制备与表征 | 第24-34页 |
| 2.1 实验原理 | 第24-26页 |
| 2.1.1 溅射原理 | 第24-25页 |
| 2.1.2 磁控溅射 | 第25-26页 |
| 2.2 薄膜制备 | 第26-28页 |
| 2.2.1 实验设备 | 第26-27页 |
| 2.2.2 制备过程 | 第27-28页 |
| 2.3 性能表征 | 第28-34页 |
| 2.3.1 X 射线衍射仪 | 第28-29页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜 | 第29-30页 |
| 2.3.3 台阶仪 | 第30-31页 |
| 2.3.4 紫外‐可见光分光光度计 | 第31-32页 |
| 2.3.5 霍尔效应测试系统 | 第32-34页 |
| 第三章 薄膜绒面结构理论 | 第34-40页 |
| 3.1 薄膜生长理论 | 第34-36页 |
| 3.1.1 薄膜的形成过程 | 第34-35页 |
| 3.1.2 薄膜的生长模式 | 第35-36页 |
| 3.2 择优取向与绒面结构 | 第36-40页 |
| 3.2.1 择优取向 | 第36-38页 |
| 3.2.2 择优取向与绒面结构的关系 | 第38-40页 |
| 第四章 SZO 薄膜的绒面结构研究 | 第40-76页 |
| 4.1 沉积温度对 SZO 薄膜绒面结构的影响 | 第40-53页 |
| 4.1.1 沉积速率 | 第41-42页 |
| 4.1.2 晶体结构 | 第42-45页 |
| 4.1.3 表面形貌 | 第45-46页 |
| 4.1.4 电学性质 | 第46-48页 |
| 4.1.5 光学性质 | 第48-52页 |
| 4.1.6 小结 | 第52-53页 |
| 4.2 溅射压强对 SZO 薄膜绒面结构的影响 | 第53-65页 |
| 4.2.1 沉积速率 | 第53-56页 |
| 4.2.2 晶体结构 | 第56-58页 |
| 4.2.3 表面形貌 | 第58-59页 |
| 4.2.4 电学性质 | 第59-61页 |
| 4.2.5 光学性质 | 第61-64页 |
| 4.2.6 小结 | 第64-65页 |
| 4.3 溅射功率对 SZO 薄膜绒面结构的影响 | 第65-76页 |
| 4.3.1 沉积速率 | 第65-66页 |
| 4.3.2 晶体结构 | 第66-69页 |
| 4.3.3 表面形貌 | 第69-70页 |
| 4.3.4 电学性质 | 第70-71页 |
| 4.3.5 光学性质 | 第71-75页 |
| 4.3.6 小结 | 第75-76页 |
| 第五章 总结与展望 | 第76-78页 |
| 作者在攻读硕士学位期间公开发表的论文 | 第78-79页 |
| 作者在攻读硕士学位期间所作的项目 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-86页 |
| 致谢 | 第86页 |
