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基于NSL技术的纳米结构阵列工艺制备与SERS增强研究

摘要第9-10页
ABSTRACT第10页
第一章 绪论第11-18页
    1.1 研究背景和意义第11-12页
        1.1.1 研究背景第11-12页
        1.1.2 课题意义第12页
    1.2 国外高SERS增强纳米结构阵列研究综述第12-15页
    1.3 国内高SERS增强纳米结构阵列研究综述第15-17页
    1.4 论文主要研究内容第17-18页
第二章 表面等离激元与表面增强拉曼散射效应理论概述第18-28页
    2.1 表面等离激元的理论基础第18-23页
        2.1.1 金属自由电子的Drude模型第18-19页
        2.1.2 表面等离激元的电磁场衰减特性第19-21页
        2.1.3 局域表面等离激元第21-23页
    2.2 表面增强拉曼散射效应理论概述第23-27页
        2.2.1 拉曼光谱的理论基础第23-25页
        2.2.2 表面增强拉曼散射效应概述第25页
        2.2.3 表面增强拉曼散射效应的增强机理第25-27页
    2.3 本章小结第27-28页
第三章 银三角锥纳米结构阵列的工艺制备与SERS增强分析第28-44页
    3.1 纳米球光刻技术第28-32页
        3.1.1 PS球溶液的配制第28-29页
        3.1.2 硅片的清洗与亲水化处理第29页
        3.1.3 旋涂单层六方排列PS球第29-30页
        3.1.4 ICP氧刻蚀工艺第30-31页
        3.1.5 金属蒸镀工艺第31-32页
        3.1.6 PS球去除工艺第32页
    3.2 银三角锥纳米结构阵列的工艺制备第32-34页
        3.2.1 银三角锥纳米阵列的工艺流程第33页
        3.2.2 银三角锥纳米结构阵列的形成机理第33-34页
    3.3 银三角锥纳米结构阵列的FDTD建模仿真第34-39页
        3.3.1 时域有限差分算法简介第34-37页
        3.3.2 银三角锥纳米结构阵列的FDTD建模第37页
        3.3.3 银三角锥纳米结构阵列的电磁学仿真与结果分析第37-39页
    3.4 银三角锥纳米结构阵列的SERS增强研究第39-42页
        3.4.1 拉曼实验原理简介第39-40页
        3.4.2 银三角锥纳米结构阵列的拉曼测试与SERS性能分析第40-42页
        3.4.3 结果分析与讨论第42页
    3.5 本章小结第42-44页
第四章 金箭头状纳米结构阵列的工艺制备与SERS增强分析第44-52页
    4.1 金箭头状纳米结构阵列的工艺制备第44-46页
        4.1.1 金箭头状纳米结构阵列的工艺流程第44-45页
        4.1.2 金箭头状纳米结构阵列的形成机理第45-46页
    4.2 金箭头状纳米结构阵列的FDTD建模仿真第46-49页
        4.2.1 金箭头状纳米结构阵列的FDTD建模第46-47页
        4.2.2 金箭头状纳米结构阵列的电磁学仿真与结果分析第47-49页
    4.3 金箭头状纳米结构阵列的SERS增强研究第49-51页
        4.3.1 金箭头状纳米结构阵列的拉曼测试与SERS性能分析第49-51页
        4.3.2 结果分析与讨论第51页
    4.4 本章小结第51-52页
第五章 金鳞状纳米球间隙阵列的工艺制备与SERS增强分析第52-60页
    5.1 金鳞状纳米球间隙阵列的工艺制备第52-54页
        5.1.1 金鳞状纳米球间隙阵列的工艺流程第52-53页
        5.1.2 金鳞状纳米球间隙阵列的形成机理第53-54页
    5.2 金鳞状纳米球间隙阵列的FDTD建模仿真第54-57页
        5.2.1 金鳞状纳米球间隙阵列的FDTD建模第54-55页
        5.2.2 金鳞状纳米球间隙阵列的电磁学仿真与结果分析第55-57页
    5.3 金鳞状纳米球间隙阵列的SERS增强研究第57-58页
        5.3.1 金鳞状纳米球间隙阵列的拉曼测试与SERS性能分析第57-58页
        5.3.2 结果分析与讨论第58页
    5.4 本章小结第58-60页
第六章 总结与展望第60-63页
    6.1 主要工作第60-61页
    6.2 研究展望第61-63页
致谢第63-64页
参考文献第64-68页
作者在学期间取得的学术成果第68页

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