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硅基集成大范围可调光延迟芯片研究

摘要第3-7页
ABSTRACT第7-10页
第一章 绪论第13-34页
    1.1 硅基光子学的发展第13-20页
    1.2 集成可调光延迟线及其应用第20-29页
    1.3 硅基光可调延迟线所面临的问题第29-31页
    1.4 论文结构安排及主要内容第31-34页
第二章 微环谐振腔理论与新型结构第34-58页
    2.1 硅基微纳光波导第34-41页
        2.1.1 光波导模式第34-37页
        2.1.2 波导损耗第37-39页
        2.1.3 波导耦合器第39-41页
    2.2 微环谐振腔第41-45页
    2.3 滑轮式耦合微环谐振腔第45-57页
        2.3.1 理论分析第46-51页
        2.3.2 实验验证第51-57页
    2.4 本章小结第57-58页
第三章 基于级联微环谐振腔的反射型延迟线第58-88页
    3.1 单个微环的延时带宽积问题第58-59页
    3.2 级联微环谐振腔的原理第59-62页
    3.3 反射型级联微环延迟线的原理与实现第62-71页
        3.3.1 器件原理第62-67页
        3.3.2 工艺实现第67-71页
    3.4 实验测试及结果分析第71-86页
        3.4.1 光学耦合与电学封装第71-76页
        3.4.2 实验结果第76-86页
    3.5 本章小结第86-88页
第四章 N-BIT可重构光延迟线的设计与实现第88-119页
    4.1 引言第88-89页
    4.2 N-BIT可重构光延迟线的原理与设计第89-104页
        4.2.1 工作原理第89-91页
        4.2.2 波导延迟线设计第91-94页
        4.2.3 光开关原理与设计第94-97页
        4.2.4 移相器的设计及其影响第97-103页
        4.2.5 可调光衰减器的设计第103-104页
    4.3 器件版图设计及加工第104-109页
    4.4 实验测试及结果分析第109-117页
    4.5 本章小结第117-119页
第五章 总结和展望第119-123页
    5.1 工作总结第119-120页
    5.2 主要创新点第120-121页
    5.3 研究展望第121-123页
参考文献第123-137页
攻读博士学位期间已发表或录用的论文第137-139页
攻读博士学位期间参与的科研项目第139-140页
致谢第140-143页

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