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高精度大相对孔径光学非球面检测研究

中文摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第一章 绪论第10-19页
    1.1 研究背景第10-12页
    1.2 研究意义第12-13页
    1.3 非球面检测发展现状第13-18页
    1.4 论文主要内容第18-19页
第二章 非球面坐标检测技术第19-23页
    2.1 非球面基本概述第19-20页
    2.2 坐标测量的原理第20-22页
    2.3 本章小结第22-23页
第三章 非球面测量误差模型第23-36页
    3.1 非球面测量误差概述第23页
    3.2 二维情况下误差分析第23-27页
        3.2.1 二维情况下偏心分析第23-24页
        3.2.2 二维情况下测头误差分析第24-27页
    3.3 非球面测头半径误差校正模型第27-33页
    3.4 非球面测头半径以及步长与测量误差的关系第33-35页
        3.4.1 测头半径对测量误差的影响第33-34页
        3.4.2 取样步长对测量误差的影响第34-35页
    3.5 本章小结第35-36页
第四章 双球头杠杆测量装置第36-55页
    4.1 双球头杠杆测量装置概述第36-37页
    4.2 双球头杠杆测量原理分析第37-39页
        4.2.1 基本测量原理第37-39页
        4.2.2 双球头杠杆测量方式第39页
    4.3 杠杆机构验证准确性第39-46页
        4.3.1 杠杆机构验证方法第40-41页
        4.3.2 杠杆机构验证计算第41-46页
    4.4 杠杆支点误差分析第46-47页
    4.5 步长、相对孔径和测头半径对杠杆机构误差影响第47-50页
        4.5.1 步长对理想机构测量误差影响第47-48页
        4.5.2 测头半径对测量误差的影响第48-49页
        4.5.3 相对孔径对测量误差的影响第49-50页
    4.6 杠杆结构的分析第50-54页
        4.6.1 杠杆测量力分析第50-51页
        4.6.2 杠杆材料的选择第51-54页
    4.7 本章小结第54-55页
第五章 总结与展望第55-56页
参考文献第56-59页
致谢第59-60页

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