高精度定位平台振动误差补偿技术研究
| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第10-11页 |
| 1.2 高精度定位平台国内外研究现状 | 第11-19页 |
| 1.2.1 机构形式的研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.2 控制方法的研究现状 | 第14-16页 |
| 1.2.3 误差补偿技术的研究现状 | 第16-19页 |
| 1.3 课题的来源及主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第二章 定位平台总体结构及振动误差分析 | 第20-32页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 高精度定位平台总体结构设计 | 第20-26页 |
| 2.2.1 导轨形式及驱动机构的选取 | 第20-22页 |
| 2.2.2 不同平台结构的有限元仿真对比 | 第22-24页 |
| 2.2.3 定位平台技术指标及总体结构设计 | 第24-25页 |
| 2.2.4 定位平台关键部件设计 | 第25-26页 |
| 2.3 高精度定位平台动力学仿真分析 | 第26-29页 |
| 2.3.1 定位平台模态分析 | 第27-28页 |
| 2.3.2 定位平台谐响应分析 | 第28-29页 |
| 2.4 高精度定位平台振动误差来源分析 | 第29-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 高精度定位平台振动误差建模 | 第32-45页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 定位平台振动误差与机电耦合模型建立 | 第32-42页 |
| 3.2.1 X轴定位平台振动误差模型 | 第32-34页 |
| 3.2.2 Y轴定位平台振动误差模型 | 第34-35页 |
| 3.2.3 Z轴定位平台振动误差模型 | 第35-38页 |
| 3.2.4 系统固有频率的计算 | 第38页 |
| 3.2.5 直线电机数学模型的建立 | 第38-40页 |
| 3.2.6 X轴和Y轴机电耦合数学模型的建立 | 第40-42页 |
| 3.3 定位平台响应特性分析 | 第42-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-45页 |
| 第四章 高精度定位平台振动误差补偿方法 | 第45-60页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 振动误差补偿机构的总体设计 | 第45-48页 |
| 4.2.1 压电陶瓷致动器匹配选型 | 第46-47页 |
| 4.2.2 双层平行板弹性铰链刚度模型的计算 | 第47-48页 |
| 4.3 振动误差补偿系统数学模型的建立 | 第48-50页 |
| 4.3.1 压电陶瓷的数学模型 | 第48-49页 |
| 4.3.2 振动误差补偿机构的数学模型 | 第49-50页 |
| 4.4 振动误差补偿机构有限元分析 | 第50-54页 |
| 4.4.1 振动误差补偿机构的静态特性分析 | 第51-52页 |
| 4.4.2 振动误差补偿机构的模态分析 | 第52-53页 |
| 4.4.3 振动误差补偿机构的位移耦合分析 | 第53-54页 |
| 4.5 微动控制系统设计 | 第54-58页 |
| 4.5.1 前馈-PID混合控制方法研究 | 第55-56页 |
| 4.5.2 微动控制系统阶跃与轨迹跟踪仿真分析 | 第56-58页 |
| 4.5.3 定位系统双重闭环控制策略 | 第58页 |
| 4.6 本章小结 | 第58-60页 |
| 第五章 高精度定位平台振动误差补偿实验 | 第60-71页 |
| 5.1 引言 | 第60页 |
| 5.2 高精度定位平台试验系统的搭建 | 第60-62页 |
| 5.3 振动误差补偿机构的测试 | 第62-67页 |
| 5.3.1 振动误差补偿平台的迟滞非线性测试 | 第62-63页 |
| 5.3.2 位移分辨率、行程及重复定位精度测试 | 第63-65页 |
| 5.3.3 位移耦合度测试 | 第65页 |
| 5.3.4 动态响应及动态跟踪测试 | 第65-67页 |
| 5.4 振动误差补偿实验研究 | 第67-70页 |
| 5.4.1 试验系统组成 | 第67页 |
| 5.4.2 振动误差补偿实验 | 第67-70页 |
| 5.5 本章小结 | 第70-71页 |
| 第六章 总结与展望 | 第71-73页 |
| 6.1 总结 | 第71页 |
| 6.2 展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 攻读硕士学位期间科研成果 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
