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CVD法制备石墨烯工艺及其光电性能研究

摘要第4-5页
ABSTRACT第5页
第一章 绪论第8-17页
    1.1 课题研究的目的和意义第8-9页
    1.2 石墨烯的结构和性能第9-12页
        1.2.1 石墨烯的结构第9-11页
        1.2.2 石墨烯的性能第11-12页
    1.3 石墨烯的研究现状第12-15页
        1.3.1 石墨烯的制备技术第13-15页
        1.3.2 石墨烯的应用第15页
    1.4 本文研究的主要内容第15-17页
第二章 实验方法和材料及表征第17-25页
    2.1 CVD法制备石墨烯的实验方法与材料第17-19页
        2.1.1 CVD化学气相沉积系统及实验过程第17-18页
        2.1.2 实验材料第18-19页
    2.2 石墨烯表征技术第19-24页
    2.3 小结第24-25页
第三章 铜衬底上CVD制备石墨烯及其光电性能分析第25-44页
    3.1 铜衬底上石墨烯的制备原理第25页
    3.2 实验所用铜箔的超声清洗和退火预处理第25-26页
    3.3 铜衬底上石墨烯的转移与拉曼表征第26-28页
    3.4 光学显微镜初步验证铜箔上的石墨烯第28页
    3.5 不同工艺参数对石墨烯生长的影响第28-39页
        3.5.1 生长温度对石墨烯生长的影响第29-31页
        3.5.2 生长时间对石墨烯生长的影响第31-34页
        3.5.3 生长气体中CH_4流量对石墨烯生长的影响第34-36页
        3.5.4 生长气体中H_2流量对石墨烯生长的影响第36-38页
        3.5.5 降温速率对石墨烯生长的影响第38-39页
    3.6 大面积少层石墨烯的制备表征及其光电性能的分析第39-43页
        3.6.1 优化工艺制备大面积少层石墨烯及其表征第39-41页
        3.6.2 铜箔衬底上石墨烯光电能性能分析第41-43页
    3.7 小结第43-44页
第四章 镍衬底上CVD制备石墨烯及其光电性能分析第44-63页
    4.1 镍衬底上石墨烯的制备原理第44页
    4.2 镍箔的超声清洗和退火预处理第44-45页
    4.3 镍衬底上石墨烯的转移第45页
    4.4 镍衬底上石墨烯拉曼表征光谱说明第45-46页
    4.5 不同工艺参数对石墨烯生长的影响第46-55页
        4.5.1 生长温度对石墨烯生长的影响第46-49页
        4.5.2 生长气体中CH_4/H_2流量比例对石墨烯生长的影响第49-51页
        4.5.3 生长时间对石墨烯生长的影响第51-52页
        4.5.4 降温速率对石墨烯生长的影响第52-55页
    4.6 大面积少层石墨烯的制备、表征及其光电性能的分析第55-59页
        4.6.1 改进工艺制备大面积少层石墨烯及其表征第55-57页
        4.6.2 镍衬底上大面积少层石墨烯光电性能的分析第57-59页
    4.7 对比研究铜镍衬底上石墨烯的制备及其透光性能第59-62页
        4.7.1 相同条件下铜箔和镍箔上石墨烯的制备及表征第59-61页
        4.7.2 铜箔和镍箔上石墨烯透光性能对比分析第61-62页
    4.8 小结第62-63页
结论第63-64页
参考文献第64-70页
致谢第70页

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