| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 铁电材料的概述 | 第9-11页 |
| 1.2 铁电存储器 | 第11-13页 |
| 1.3 铁电薄膜的失效机制 | 第13-16页 |
| 1.3.1 极化疲劳失效 | 第13-14页 |
| 1.3.2 保持损失失效 | 第14-15页 |
| 1.3.3 印记失效 | 第15-16页 |
| 1.4 本课题的选题依据和主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 铁电薄膜电学性能的介绍 | 第17-33页 |
| 2.1 实验样品和测试仪器的介绍 | 第17-18页 |
| 2.2 电滞回线测试 | 第18-21页 |
| 2.2.1 不同外加电压对电滞回线的影响 | 第19-21页 |
| 2.2.2 外加极化波形频率对矫顽场的影响 | 第21页 |
| 2.3 PUND测试 | 第21-23页 |
| 2.4 漏电流测试 | 第23-26页 |
| 2.4.1 欧姆导电机制 | 第23-24页 |
| 2.4.2 肖特基导电机制 | 第24-25页 |
| 2.4.3 其他导电机制 | 第25-26页 |
| 2.5 极化保持特性测试 | 第26-30页 |
| 2.5.1 不同极化强度的极化保持特性比较 | 第28-29页 |
| 2.5.2 不同极化取向的极化保持特性比较 | 第29-30页 |
| 2.6 电容电压特性（C-V）曲线测试 | 第30-31页 |
| 2.7 本章小结 | 第31-33页 |
| 第3章 铁电薄膜内部应力的评估 | 第33-41页 |
| 3.1 薄膜应力的传统X射线衍射测试方法 | 第33-35页 |
| 3.1.1 XRD测试基本原理 | 第33-34页 |
| 3.1.2 XRD测试薄膜内部应力的传统sin~2Ψ 方法 | 第34-35页 |
| 3.2 薄膜应力的新型测试方法 | 第35-38页 |
| 3.3 铁电薄膜内部应力的分析 | 第38-39页 |
| 3.4 本章小结 | 第39-41页 |
| 第4章 铁电薄膜疲劳失效的研究 | 第41-57页 |
| 4.1 铁电薄膜疲劳机制的研究现状 | 第41-42页 |
| 4.2 疲劳现象的测试 | 第42页 |
| 4.3 疲劳特性对漏电流的影响 | 第42-44页 |
| 4.3.1 疲劳特性对体电导率的影响 | 第43-44页 |
| 4.4 疲劳特性对电滞回线的影响 | 第44-50页 |
| 4.4.1 对称疲劳波形下电滞回线的变化 | 第44-46页 |
| 4.4.2 不对称疲劳波形下电滞回线的变化 | 第46-48页 |
| 4.4.3 氧空位的产生原理 | 第48-49页 |
| 4.4.4 氧空位漂移速率及迁移率的拟合 | 第49-50页 |
| 4.5 疲劳特性对保持特性的影响 | 第50-51页 |
| 4.6 疲劳特性对CV特性的影响 | 第51-52页 |
| 4.7 铁电存储器疲劳过程中的热效应 | 第52-55页 |
| 4.8 本章小结 | 第55-57页 |
| 结论 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65页 |