| 中文摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第15-29页 |
| 1.1 课题的研究背景和意义 | 第15-17页 |
| 1.2 静电驱动微谐振器的研究现状 | 第17-25页 |
| 1.2.1 吸合效应 | 第17-21页 |
| 1.2.2 非线性振动特性 | 第21-22页 |
| 1.2.3 混沌动力学及其控制 | 第22-24页 |
| 1.2.4 振动优化控制 | 第24-25页 |
| 1.3 分数阶控制算法的研究现状 | 第25-26页 |
| 1.4 本文关注的科学问题 | 第26-27页 |
| 1.5 本文的主要研究工作 | 第27-29页 |
| 第二章 双极板静电驱动微梁谐振器的静态分岔分析 | 第29-45页 |
| 2.1 引言 | 第29页 |
| 2.2 谐振器的简化动力学模型 | 第29-34页 |
| 2.3 静态分岔分析 | 第34-39页 |
| 2.4 保守系统的静动态吸合行为分析 | 第39-43页 |
| 2.4.1 a≤2 的情况 | 第41页 |
| 2.4.2 a＞2 的情况 | 第41-43页 |
| 2.5 本章小结 | 第43-45页 |
| 第三章 双极板静电驱动微梁谐振器的小幅振动特性分析 | 第45-59页 |
| 3.1 引言 | 第45页 |
| 3.2 主共振分析 | 第45-52页 |
| 3.2.1 多尺度法求解 | 第46-49页 |
| 3.2.2 理论分析及验证 | 第49-52页 |
| 3.3 数值分析 | 第52-55页 |
| 3.4 线性特性分析 | 第55-57页 |
| 3.5 本章小结 | 第57-59页 |
| 第四章 时滞速度反馈作用下微梁谐振器的非线性振动及控制问题研究 | 第59-79页 |
| 4.1 引言 | 第59页 |
| 4.2 基本动力学方程及理论解推导 | 第59-66页 |
| 4.2.1 时滞稳定性分析 | 第60-64页 |
| 4.2.2 多尺度方法求解 | 第64-66页 |
| 4.3 稳定性分析 | 第66-68页 |
| 4.4 数值分析 | 第68-73页 |
| 4.4.1 非线性跳跃现象 | 第68-71页 |
| 4.4.2 时滞速度反馈的调频调阻特性 | 第71-73页 |
| 4.5 调频调阻解耦问题探讨 | 第73-77页 |
| 4.6 本章小结 | 第77-79页 |
| 第五章 双极板静电驱动微梁谐振器的大幅振动设计初探 | 第79-97页 |
| 5.1 引言 | 第79页 |
| 5.2 计算Melnikov函数的数值积分方法 | 第79-81页 |
| 5.3 大幅振动的参数设计 | 第81-87页 |
| 5.3.1 微梁的固有角频率 | 第83-85页 |
| 5.3.2 间距-厚度比 | 第85-86页 |
| 5.3.3 直流电压 | 第86-87页 |
| 5.4 大幅振动的动力学设计 | 第87-95页 |
| 5.5 本章小结 | 第95-97页 |
| 第六章 分数阶滑模控制器设计及其在动态MEMS混沌控制中的应用 | 第97-113页 |
| 6.1 引言 | 第97页 |
| 6.2 分数阶微积分及滑模控制理论 | 第97-100页 |
| 6.2.1 Riemann-Liouville分数阶微积分 | 第97-99页 |
| 6.2.2 分数阶微积分近似算法 | 第99-100页 |
| 6.2.3 滑模控制理论 | 第100页 |
| 6.3 分数阶滑模控制器设计 | 第100-107页 |
| 6.3.1 模糊分数阶快速终端滑模控制算法 | 第101-104页 |
| 6.3.2 分数阶非奇异快速终端滑模控制算法 | 第104-107页 |
| 6.4 分数阶滑模控制算法的数值验证 | 第107-111页 |
| 6.4.1 模糊分数阶快速终端滑模控制算法的数值验证 | 第107-109页 |
| 6.4.2 分数阶非奇异快速终端滑模控制算法的数值验证 | 第109-111页 |
| 6.5 本章小结 | 第111-113页 |
| 第七章 总结与展望 | 第113-117页 |
| 7.1 全文总结 | 第113-114页 |
| 7.2 工作展望 | 第114-117页 |
| 参考文献 | 第117-129页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第129-131页 |
| 附录 | 第131-133页 |
| 致谢 | 第133-134页 |
