小型振动能量采集器制作及其性能研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-11页 |
| 1.2 振动能量采集技术的研究现状 | 第11-15页 |
| 1.2.1 电磁式能量采集 | 第11-12页 |
| 1.2.2 静电式能量采集 | 第12-13页 |
| 1.2.3 压电式能量采集 | 第13-15页 |
| 1.3 论文的研究目的和意义 | 第15-16页 |
| 1.4 论文的研究内容和章节安排 | 第16-17页 |
| 第二章 振动能量采集器的设计 | 第17-28页 |
| 2.1 压电理论基础 | 第17-20页 |
| 2.1.1 压电效应与压电方程 | 第17-19页 |
| 2.1.2 压电振子 | 第19-20页 |
| 2.2 振动发电器件的结构分析 | 第20-25页 |
| 2.2.1 悬臂梁式能量采集结构分析 | 第20-24页 |
| 2.2.2 悬臂梁能量采集器件的固有频率 | 第24-25页 |
| 2.3 本论文发电器件的设计 | 第25-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-28页 |
| 第三章 实验方案及前期准备 | 第28-41页 |
| 3.1 薄膜制备技术的比较和选择 | 第28-32页 |
| 3.1.1 薄膜制备方法的比较 | 第28-30页 |
| 3.1.2 制备薄膜技术的选择：浸渍提拉法 | 第30-31页 |
| 3.1.3 薄膜制备实验流程图 | 第31-32页 |
| 3.2 前驱体溶液制备 | 第32-35页 |
| 3.2.1 实验所用试剂 | 第32页 |
| 3.2.2 原料配比的计算 | 第32-33页 |
| 3.2.3 前驱体溶液配制 | 第33-35页 |
| 3.3 PZT薄膜的制备 | 第35-37页 |
| 3.3.1 衬底选择 | 第35页 |
| 3.3.2 PZT薄膜的制备过程 | 第35-37页 |
| 3.4 镀电极与极化 | 第37-38页 |
| 3.5 薄膜的表征 | 第38-40页 |
| 3.6 本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 Ti基悬臂梁能量采集器件制备及性能研究 | 第41-57页 |
| 4.1 单晶片压电结构能量采集器件的性能分析 | 第41-51页 |
| 4.1.1 单晶片压电结构能量采集器件的制备 | 第41-42页 |
| 4.1.2 测试系统的搭建 | 第42-43页 |
| 4.1.3 谐振频率理论分析 | 第43-45页 |
| 4.1.4 器件的PZT薄膜形态表征 | 第45-46页 |
| 4.1.5 器件的发电性能分析 | 第46-50页 |
| 4.1.6 性能对比 | 第50-51页 |
| 4.2 串联双晶片压电结构能量采集器件的性能分析 | 第51-56页 |
| 4.2.1 双晶片压电结构能量采集器件的制备 | 第51-52页 |
| 4.2.2 器件的PZT薄膜形态表征 | 第52-54页 |
| 4.2.3 器件的发电性能分析 | 第54-56页 |
| 4.3 本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 Ti基波纹状能量采集器件制备及性能研究 | 第57-64页 |
| 5.1 波纹状能量采集器件的制备 | 第57-58页 |
| 5.2 器件振动频率的影响因素 | 第58-60页 |
| 5.3 薄膜表征及器件性能分析 | 第60-63页 |
| 5.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 第六章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 附录 攻读硕士学位期间撰写的专利和论文 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
