| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第8页 |
| 1.2 压电驱动器的分类 | 第8-11页 |
| 1.2.1 超声电机 | 第8-9页 |
| 1.2.2 尺蠖马达 | 第9页 |
| 1.2.3 宏微驱动器 | 第9-10页 |
| 1.2.4 惯性马达 | 第10-11页 |
| 1.3 惯性马达国内外研究现状 | 第11-18页 |
| 1.3.1 冲击型压电惯性马达 | 第11-14页 |
| 1.3.2 滑动型压电惯性马达 | 第14-18页 |
| 1.4 本文研究工作主要内容 | 第18-20页 |
| 第二章 压电堆叠特性及杆的振动理论研究 | 第20-28页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 压电堆叠 | 第20-22页 |
| 2.2.1 压电效应 | 第20页 |
| 2.2.2 压电堆叠参数 | 第20-22页 |
| 2.2.3 压电堆叠特性 | 第22页 |
| 2.3 杆的纵向振动理论 | 第22-25页 |
| 2.4 压电堆叠运动学模型 | 第25-26页 |
| 2.5 本章小结 | 第26-28页 |
| 第三章 压电惯性马达的设计与仿真分析 | 第28-41页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 压电惯性马达结构设计 | 第28-29页 |
| 3.3 压电惯性马达驱动原理 | 第29-30页 |
| 3.4 粘滑运动理论 | 第30-35页 |
| 3.4.1 滑动型压电惯性马达滑块运动分析 | 第30-34页 |
| 3.4.2 粘滑临界条件判定 | 第34-35页 |
| 3.5 压电惯性马达ANSYS仿真分析 | 第35-38页 |
| 3.5.1 压电惯性马达有限元分析前处理 | 第36-37页 |
| 3.5.2 模态仿真分析 | 第37-38页 |
| 3.6 压电惯性马达滑块粘滑运动仿真分析 | 第38-40页 |
| 3.6.1 建立ADAMS三维模型 | 第38-39页 |
| 3.6.2 运动仿真设置与结果分析 | 第39-40页 |
| 3.7 本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 神经网络控制器设计与编制LabVIEW程序 | 第41-53页 |
| 4.1 引言 | 第41页 |
| 4.2 人工神经网络 | 第41页 |
| 4.3 宏定位控制过程的神经网络控制器设计 | 第41-43页 |
| 4.4 微定位控制过程的神经网络控制器设计 | 第43-45页 |
| 4.5 神经网络PD控制器在LabVIEW软件中的程序编制 | 第45-52页 |
| 4.5.1 数据采集部分 | 第46-47页 |
| 4.5.2 马达控制部分 | 第47-52页 |
| 4.6 本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 搭建马达控制系统与实验 | 第53-61页 |
| 5.1 引言 | 第53页 |
| 5.2 搭建开环控制系统与马达粘滑实验研究 | 第53-56页 |
| 5.2.1 搭建开环控制系统 | 第53-54页 |
| 5.2.2 压电惯性马达粘滑实验研究 | 第54-55页 |
| 5.2.3 压电惯性马达粘滑理论计算研究 | 第55-56页 |
| 5.3 搭建闭环控制系统与定位精度控制实验研究 | 第56-60页 |
| 5.3.1 搭建闭环控制系统 | 第56-57页 |
| 5.3.2 压电惯性马达定位精度控制实验研究 | 第57-60页 |
| 5.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 第六章 结论 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 作者简介 | 第67页 |
| 攻读硕士学位期间研究成果 | 第67页 |