| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 Tof-3D图像传感器 | 第10-13页 |
| 1.1.1 Tof测距技术 | 第10-11页 |
| 1.1.2 图像传感器 | 第11-12页 |
| 1.1.3 Tof-3D图像传感器原理 | 第12-13页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3 论文主要工作和结构安排 | 第15-16页 |
| 第2章 单光子雪崩二极管像素结构基本理论和方法 | 第16-23页 |
| 2.1 SPAD工作原理 | 第16页 |
| 2.2 特征参数 | 第16-18页 |
| 2.2.1 光子探测效率 | 第17页 |
| 2.2.2 雪崩倍增因子 | 第17页 |
| 2.2.3 响应度 | 第17-18页 |
| 2.2.4 暗计数 | 第18页 |
| 2.3 SPAD的淬灭 | 第18-22页 |
| 2.3.1 被动淬灭 | 第18-20页 |
| 2.3.2 主动淬灭 | 第20-21页 |
| 2.3.3 门控脉冲淬灭 | 第21-22页 |
| 2.4 本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 0.13μm CIS工艺的SPAD结构设计 | 第23-29页 |
| 3.1 SPAD优化设计 | 第23-24页 |
| 3.2 SPAD结构建模 | 第24-26页 |
| 3.3 SPAD版图设计 | 第26-28页 |
| 3.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第4章 单光子雪崩二极管淬灭电路设计 | 第29-35页 |
| 4.1 淬灭电路设计要求 | 第29页 |
| 4.2 淬灭电路设计 | 第29-33页 |
| 4.2.1 主动淬灭电路 | 第29-31页 |
| 4.2.2 延时电路 | 第31-32页 |
| 4.2.3 完整淬灭电路 | 第32-33页 |
| 4.3 版图设计 | 第33-34页 |
| 4.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第5章 时间数字转换电路设计 | 第35-43页 |
| 5.1 时间数字转换电路原理 | 第35-36页 |
| 5.2 电路设计 | 第36-40页 |
| 5.2.1 粗精度测量 | 第37页 |
| 5.2.2 细精度测量 | 第37-40页 |
| 5.3 版图设计 | 第40-42页 |
| 5.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第6章 仿真验证与流片测试 | 第43-58页 |
| 6.1 SPAD仿真 | 第43-47页 |
| 6.1.1 电场强度仿真 | 第43页 |
| 6.1.2 雪崩击穿电压仿真 | 第43-45页 |
| 6.1.3 暗电流和光电流仿真 | 第45-46页 |
| 6.1.4 不同光照强度仿真 | 第46-47页 |
| 6.2 淬灭电路仿真 | 第47-51页 |
| 6.3 TDC电路仿真 | 第51-52页 |
| 6.4 像素单元流片 | 第52-53页 |
| 6.5 芯片测试与分析 | 第53-56页 |
| 6.5.1 测试方案 | 第54页 |
| 6.5.2 测试结果分析 | 第54-56页 |
| 6.6 本章小结 | 第56-58页 |
| 第7章 总结与展望 | 第58-60页 |
| 7.1 全文总结 | 第58-59页 |
| 7.2 课题展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第65页 |