| 摘要 | 第8-9页 |
| abstract | 第9-10页 |
| 第一章 绪论 | 第16-24页 |
| 1.1 课题研究背景及国内外研究现状 | 第16-21页 |
| 1.2 课题的研究意义 | 第21-22页 |
| 1.3 课题来源及主要研究内容 | 第22-23页 |
| 1.4 本章小结 | 第23-24页 |
| 第二章 光纤布拉格光栅传感及解调的基本原理 | 第24-31页 |
| 2.1 光纤布拉格光栅的衍射原理 | 第24-25页 |
| 2.2 光纤布拉格光栅的传感特性 | 第25-26页 |
| 2.3 光纤布拉格光栅的波长解调技术 | 第26-28页 |
| 2.3.1 光谱分析法 | 第26页 |
| 2.3.2 可调谐光纤光栅滤波器法 | 第26-27页 |
| 2.3.3 可调谐光源检测法 | 第27页 |
| 2.3.4 可调谐Fabry-Perot滤波器法 | 第27页 |
| 2.3.5 非平衡Mach-Zehnder干涉仪法 | 第27-28页 |
| 2.4 光纤布拉格光栅的复用技术 | 第28-30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 三维纳米测头的测量机理 | 第31-43页 |
| 3.1 测头传感机理 | 第31-33页 |
| 3.1.1 三维纳米测头的传感方式 | 第31-32页 |
| 3.1.2 测头的工作模式 | 第32-33页 |
| 3.2 测头的机械结构 | 第33-34页 |
| 3.3 三维纳米测头的解调方案 | 第34-42页 |
| 3.3.1 基于非平衡M-Z干涉仪法的解调方案 | 第34-38页 |
| 3.3.2 基于匹配光栅法的解调方案 | 第38-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 三维纳米测头系统的实现 | 第43-53页 |
| 4.1 测头系统的整体构架 | 第43-44页 |
| 4.2 光学系统构成 | 第44-47页 |
| 4.3 光电转换接口模块 | 第47-49页 |
| 4.4 上位机测量部分 | 第49-52页 |
| 4.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 基于FBG的三维纳米测头系统的性能测试 | 第53-62页 |
| 5.1 测试系统构成与实验原理 | 第53-55页 |
| 5.2 单根FBG传感器的灵敏度实验 | 第55-56页 |
| 5.3 测头整机的性能测试 | 第56-61页 |
| 5.3.1 分辨力实验 | 第57页 |
| 5.3.2 重复性 | 第57-61页 |
| 5.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第六章 三维纳米测头的校正与误差分析 | 第62-72页 |
| 6.1 三维纳米测头的空间坐标解耦 | 第62-65页 |
| 6.2 三维纳米测头的校正 | 第65-68页 |
| 6.2.1 基于多元线性回归的三维解耦模型 | 第65-66页 |
| 6.2.2 三维纳米测头的解耦 | 第66-68页 |
| 6.3 测头系统的误差分析 | 第68-71页 |
| 6.4 本章小结 | 第71-72页 |
| 第七章 总结与展望 | 第72-74页 |
| 7.1 主要工作及成果总结 | 第72-73页 |
| 7.2 研究工作展望 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第78-79页 |