| 学位论文的主要创新点 | 第3-4页 |
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-22页 |
| 1.1 研究背景 | 第8页 |
| 1.2 太阳能电池 | 第8-14页 |
| 1.2.1 太阳光谱分布 | 第9-10页 |
| 1.2.2 太阳能电池的分类 | 第10-12页 |
| 1.2.2.1 硅系太阳能电池 | 第10-11页 |
| 1.2.2.2 多元化合物薄膜太阳能电池 | 第11页 |
| 1.2.2.3 染料敏化太阳能电池 | 第11页 |
| 1.2.2.4 有机太阳能电池 | 第11-12页 |
| 1.2.3 硅太阳能电池工作原理 | 第12-14页 |
| 1.3 硅太阳能电池的基本参数 | 第14-15页 |
| 1.4 太阳能电池陷光结构分类 | 第15-19页 |
| 1.4.1 太阳能电池表面微结构 | 第16页 |
| 1.4.2 太阳能集热器陷光 | 第16-18页 |
| 1.4.3 等离子体陷光 | 第18页 |
| 1.4.4 上转换陷光 | 第18-19页 |
| 1.5 论文的研究内容与意义 | 第19-22页 |
| 第二章 FDTD软件与建模仿真 | 第22-28页 |
| 2.1 多晶硅太阳能电池仿真物理建模 | 第23-24页 |
| 2.2 仿真结果与讨论 | 第24-27页 |
| 2.2.1 AAO纳米光栅孔径优化 | 第24-25页 |
| 2.2.2 AAO纳米光栅厚度优化 | 第25-26页 |
| 2.2.3 AAO纳米光栅孔间距优化 | 第26-27页 |
| 2.3 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 AAO纳米光栅的制备 | 第28-34页 |
| 3.1 表面减反层的理论分析 | 第28-29页 |
| 3.2 AAO纳米光栅的制备 | 第29-34页 |
| 3.2.1 实验装置 | 第29-30页 |
| 3.2.2 制备过程 | 第30-34页 |
| 第四章 多晶硅太阳能电池的制备 | 第34-42页 |
| 4.1 一次清洗 | 第34-36页 |
| 4.1.1 一次清洗的原理 | 第34-35页 |
| 4.1.2 一次清洗的制备过程 | 第35-36页 |
| 4.2 扩散工艺 | 第36-38页 |
| 4.2.1 扩散原理 | 第36-37页 |
| 4.2.2 扩散的制备过程 | 第37-38页 |
| 4.3 湿法刻蚀原理 | 第38页 |
| 4.4 等离子体增强化学气相沉积工艺 | 第38-40页 |
| 4.4.1 等离子体增强化学气相沉积技术制备氮化硅薄膜的原理 | 第38-39页 |
| 4.4.2 氮化硅的制备过程 | 第39-40页 |
| 4.5 金属电极工序 | 第40-42页 |
| 4.5.1 金属电极工艺的原理 | 第40页 |
| 4.5.2 金属电极的制备过程 | 第40-42页 |
| 第五章 多晶硅太阳能电池的光电性能研究 | 第42-56页 |
| 5.1 AAO纳米光栅结构参数对Jsc的影响 | 第42-51页 |
| 5.1.1 AAO纳米光栅孔径对Jsc的影响 | 第43-45页 |
| 5.1.2 AAO纳米光栅厚度对Jsc的影响 | 第45-48页 |
| 5.1.3 AAO纳米光栅孔间距对Jsc的影响 | 第48-51页 |
| 5.2 AAO纳米光栅结构对光反射的影响 | 第51-52页 |
| 5.3 理论分析 | 第52-56页 |
| 第六章 总结与展望 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-64页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66页 |