| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 引言 | 第8页 |
| 1.2 紫外红外双截止镀膜玻璃 | 第8-14页 |
| 1.2.1 紫外截止玻璃及其研究进展 | 第8-9页 |
| 1.2.2 紫外屏蔽原理 | 第9页 |
| 1.2.3 CeO_2在紫外屏蔽中的作用 | 第9-11页 |
| 1.2.4 SnO_2在紫外屏蔽中的作用 | 第11页 |
| 1.2.5 红外截止玻璃及其研究进展 | 第11-13页 |
| 1.2.6 红外反射原理 | 第13-14页 |
| 1.2.7 FTO薄膜 | 第14页 |
| 1.3 磁控溅射 | 第14-15页 |
| 1.3.1 传统磁控溅射及其发展 | 第15页 |
| 1.3.2 反应磁控溅射及共溅射 | 第15页 |
| 1.4 研究意义及研究内容 | 第15-17页 |
| 1.4.1 本文的研究意义 | 第15-16页 |
| 1.4.2 本文的研究内容 | 第16-17页 |
| 2 实验与表征 | 第17-18页 |
| 2.1 实验仪器及样品制备 | 第17页 |
| 2.2 样品的测试及表征 | 第17-18页 |
| 3 Ce-Sn-O防紫外薄膜正交实验 | 第18-27页 |
| 3.1 正交实验原理及设计 | 第18页 |
| 3.2 实验设计方案及结果分析 | 第18-26页 |
| 3.3 本章小结 | 第26-27页 |
| 4 工艺条件对Ce-Sn-O薄膜微观结构及光学性能的影响 | 第27-39页 |
| 4.1 氩氧流量比对薄膜性能的影响 | 第27-32页 |
| 4.1.1 薄膜结构分析 | 第27-28页 |
| 4.1.2 薄膜的微观形貌及元素分布 | 第28-29页 |
| 4.1.3 XPS结果分析 | 第29-31页 |
| 4.1.4 薄膜的光学性能分析 | 第31-32页 |
| 4.2 Sn靶溅射功率对薄膜性能的影响 | 第32-37页 |
| 4.2.1 微观形貌及元素分布分析 | 第32-33页 |
| 4.2.2 微观结构分析 | 第33-34页 |
| 4.2.3 XPS结果分析 | 第34-36页 |
| 4.2.4 薄膜的光学性能分析 | 第36-37页 |
| 4.3 本章小结 | 第37-39页 |
| 5 Ce-Sn-O/FTO复合薄膜 | 第39-44页 |
| 5.1 FTO薄膜的制备 | 第39-40页 |
| 5.2 Ce-Sn-O/FTO复合薄膜 | 第40-43页 |
| 5.2.1 复合薄膜的晶体结构和形貌 | 第40-41页 |
| 5.2.2 复合薄膜的光学性能 | 第41-42页 |
| 5.2.3 复合薄膜的结合力 | 第42-43页 |
| 5.3 本章小结 | 第43-44页 |
| 6 总结与展望 | 第44-46页 |
| 参考文献 | 第46-50页 |
| 在读期间发表论文 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51页 |