| 中文摘要 | 第8-10页 |
| Abstract | 第10-11页 |
| 第一章 绪论 | 第12-23页 |
| 第一节 引言 | 第12-14页 |
| 第二节 光电探测器分类及工作原理 | 第14-17页 |
| 第三节 光电探测器的主要参数 | 第17-20页 |
| 1.3.1 光电探测器的性能参数 | 第17-19页 |
| 1.3.2 光电探测器的工艺参数 | 第19-20页 |
| 1.3.3 光电探测器有关噪声方面的参数 | 第20页 |
| 第四节 紫外光电探测器的研究现状 | 第20-23页 |
| 第二章 TiO_2薄膜的结构和常见制备测试技术 | 第23-39页 |
| 第一节 TiO_2薄膜的结构及应用 | 第23-26页 |
| 2.1.1 TiO_2薄膜的晶体结构 | 第23-25页 |
| 2.1.2 TiO_2薄膜的应用 | 第25-26页 |
| 第二节 TiO_2薄膜的制备技术 | 第26-32页 |
| 2.2.1 溅射法 | 第26-28页 |
| 2.2.2 脉冲激光沉积法(PLD) | 第28-29页 |
| 2.2.3 溶胶-凝胶法(Sol-Gel) | 第29-31页 |
| 2.2.4 化学气相沉积法(CVD) | 第31-32页 |
| 第三节 薄膜的测试方法 | 第32-38页 |
| 2.3.1 X射线衍射(XRD) | 第32-33页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜(SEM) | 第33-35页 |
| 2.3.3 原子力显微镜(AFM) | 第35-37页 |
| 2.3.4 紫外-可见分光光度法测试 | 第37-38页 |
| 2.3.5 其他方面的测量 | 第38页 |
| 第四节 本章小结 | 第38-39页 |
| 第三章 本论文的TiO_2薄膜的制备与表征 | 第39-45页 |
| 第一节 液相沉积法(LPD)制备TiO_2薄膜 | 第39-42页 |
| 3.1.1 液相沉积法制备TiO_2薄膜原理 | 第39-41页 |
| 3.1.2 本文TiO_2薄膜的制备 | 第41-42页 |
| 第二节 TiO_2薄膜的表征 | 第42-45页 |
| 3.2.1 TiO_2薄膜的形貌特征 | 第42-44页 |
| 3.2.2 TiO_2薄膜的晶体结构 | 第44-45页 |
| 第四章 TiO_2/Spiro-MeOTA紫外探测器器件制备和性能测试分析 | 第45-53页 |
| 第一节 引言 | 第45页 |
| 第二节 器件的制备 | 第45-47页 |
| 第三节 器件的性能测试 | 第47-52页 |
| 4.3.1 光谱响应特性曲线 | 第47-49页 |
| 4.3.2 电流-时间(I-T)特性曲线 | 第49-51页 |
| 4.3.3 伏安(I-V)特性曲线 | 第51-52页 |
| 第四节 本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 总结与展望 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第57页 |