基于石墨烯纳机电振子的实验研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第12-24页 |
| 1.1 纳机电系统简介 | 第12-13页 |
| 1.2 石墨烯纳机电振子简介 | 第13-16页 |
| 1.2.1 石墨烯电学性质 | 第14-15页 |
| 1.2.2 石墨烯机械性质 | 第15-16页 |
| 1.3 石墨烯纳机电振子 | 第16-18页 |
| 1.4 单电子隧穿与量子点 | 第18-20页 |
| 1.5 本文 | 第20-21页 |
| 参考文献 | 第21-24页 |
| 第2章 样品制备工艺与技术 | 第24-44页 |
| 2.1 半导体微纳加工工艺与设备 | 第24-35页 |
| 2.1.1 SEM与电子束曝光 | 第24-31页 |
| 2.1.2 AFM与扫描探针加工技术 | 第31-33页 |
| 2.1.3 ICP与等离子体刻蚀 | 第33-34页 |
| 2.1.4 其他常用仪器 | 第34-35页 |
| 2.2 二维材料转移与悬浮工艺 | 第35-41页 |
| 2.2.1 二维材料转移工艺 | 第35-38页 |
| 2.2.2 多层抗蚀剂悬浮工艺 | 第38-41页 |
| 2.3 本章小结 | 第41-42页 |
| 参考文献 | 第42-44页 |
| 第3章 石墨烯机械振子的测量 | 第44-62页 |
| 3.1 光学转换测量方法 | 第44-45页 |
| 3.2 电学转换测量方法 | 第45-51页 |
| 3.3 石墨烯机械振子性质表征 | 第51-56页 |
| 3.3.1 共振频率调谐 | 第51-53页 |
| 3.3.2 品质因子 | 第53-54页 |
| 3.3.3 非线性 | 第54-56页 |
| 3.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-62页 |
| 第4章 单电子隧穿与机械模式强耦合 | 第62-82页 |
| 4.1 样品结构 | 第63-65页 |
| 4.2 量子点以及机械振子测量 | 第65-68页 |
| 4.3 单电子隧穿与振动模式耦合测量 | 第68-74页 |
| 4.4 本章小结 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-82页 |
| 第5章 石墨烯机械振子同步振动 | 第82-96页 |
| 5.1 机械振动的同步现象 | 第82-83页 |
| 5.2 耦合的石墨烯机械振子 | 第83-87页 |
| 5.3 石墨烯机械模式的同步振动 | 第87-90页 |
| 5.4 本章小结 | 第90-92页 |
| 参考文献 | 第92-96页 |
| 第6章 石墨烯机械振子可调长程耦合 | 第96-112页 |
| 6.1 研究背景 | 第96-100页 |
| 6.2 机械模式表征 | 第100-101页 |
| 6.3 机械模式的强耦合 | 第101-104页 |
| 6.4 机械模式的可调长程耦合 | 第104-108页 |
| 6.5 本章小结 | 第108-109页 |
| 参考文献 | 第109-112页 |
| 第7章 总结与展望 | 第112-116页 |
| 7.1 总结 | 第112-113页 |
| 7.2 展望 | 第113-115页 |
| 参考文献 | 第115-116页 |
| 致谢 | 第116-118页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第118页 |
