悬臂梁式环形谐振腔微压传感特性研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第一章 绪论	第9-16页
·课题背景及意义	第9-10页
·国内外现状	第10-15页
·本文主要研究内容	第15-16页
第二章 微压传感检测机理	第16-24页
·环形谐振腔传输理论	第16-17页
·环形谐振腔特性指标	第17-20页
·谐振波长 λ_m	第17-18页
·自由频谱宽度FSR	第18-19页
·半高全宽FWHM	第19页
·品质因数Q	第19-20页
·精细度F	第20页
·环形谐振腔微压传感器工作原理	第20-22页
·倏逝波耦合原理	第20-21页
·力光耦合效应和光弹效应	第21页
·微压传感器工作原理	第21-22页
·本章小结	第22-24页
第三章 微压传感器的建模仿真与理论分析	第24-32页
·悬臂梁结构设计	第24-28页
·悬臂梁力学特性研究	第24-26页
·悬臂梁结构的静力学分析	第26-27页
·悬臂梁结构模态分析	第27-28页
·环形谐振腔结构参数分析	第28-30页
·谱线点漂移量与环腔周长的关系	第28-29页
·环腔性能对微压力检测的影响	第29-30页
·传感器灵敏度和动态范围	第30-31页
·传感器灵敏度	第30页
·传感器动态范围	第30-31页
·本章小结	第31-32页
第四章 传感器结构设计与加工	第32-44页
·材料选择	第32-33页
·版图绘制	第33-36页
·结构制备	第36-43页
·本章小结	第43-44页
第五章 环形谐振腔性能测试与分析	第44-50页
·环形谐振腔结构测试系统搭建	第44-46页
·测试结果分析	第46-47页
·环形谐振腔优化	第47-49页
·本章小结	第49-50页
第六章 总结与展望	第50-52页
·工作总结	第50-51页
·工作展望	第51-52页
参考文献	第52-58页
攻读硕士学位期间发表的论文及取得的研究成果	第58-59页
致谢	第59-60页