| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-19页 |
| ·热电材料的发展与应用 | 第10-12页 |
| ·热电相关理论 | 第12-15页 |
| ·热电效应 | 第12-14页 |
| ·热电优值系数及相关理论 | 第14-15页 |
| ·热电材料性能的提高 | 第15-16页 |
| ·CoSb_3基热电材料及其研究现状 | 第16-17页 |
| ·本论文的研究内容和目的 | 第17-19页 |
| 第2章 薄膜制备与性能表征方法 | 第19-26页 |
| ·磁控溅射镀膜法 | 第19-20页 |
| ·热电薄膜的表征方法 | 第20-26页 |
| ·Seebeck系数测量仪 | 第20-21页 |
| ·四探针测试系统 | 第21-22页 |
| ·X射线衍射仪 | 第22-23页 |
| ·扫描电子显微镜和能量色散谱仪 | 第23-25页 |
| ·霍尔效应仪 | 第25页 |
| ·表面轮廓仪 | 第25-26页 |
| 第3章 磁控溅射法制备锑化钴基热电薄膜及性能研究 | 第26-38页 |
| ·基底的选取与清洗 | 第26页 |
| ·磁控共溅射制备CoSb_3薄膜及其热电特性的研究 | 第26-30页 |
| ·溅射功率对薄膜的影响 | 第26-27页 |
| ·退火温度对薄膜热电性能的影响 | 第27-30页 |
| ·射频溅射CoSb_3合金靶制备CoSb_3热电薄膜 | 第30-36页 |
| ·溅射功率对CoSb_3薄膜热电特性的影响研究 | 第31-32页 |
| ·退火温度对CoSb_3薄膜热电特性的影响研究 | 第32-36页 |
| ·小结 | 第36-38页 |
| 第4章 掺杂和复合对锑化钴基薄膜热电性特性的影响研究 | 第38-53页 |
| ·不同In掺杂量对CoSb_3薄膜热电性特性的影响研究 | 第38-42页 |
| ·AZO复合量对CoSb_3薄膜热电性能特性的影响研究 | 第42-46页 |
| ·本征ZnO复合量对CoSb_3薄膜热电性能特性的影响研究 | 第46-49页 |
| ·本征ZnO、AZO和CoSb_3复合的薄膜热电性能特性的研究 | 第49-52页 |
| ·小结 | 第52-53页 |
| 第5章 总结 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第61-62页 |
