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锑化钴基热电薄膜的制备与性能研究

摘要第1-6页
Abstract第6-10页
第1章 绪论第10-19页
   ·热电材料的发展与应用第10-12页
   ·热电相关理论第12-15页
     ·热电效应第12-14页
     ·热电优值系数及相关理论第14-15页
   ·热电材料性能的提高第15-16页
   ·CoSb_3基热电材料及其研究现状第16-17页
   ·本论文的研究内容和目的第17-19页
第2章 薄膜制备与性能表征方法第19-26页
   ·磁控溅射镀膜法第19-20页
   ·热电薄膜的表征方法第20-26页
     ·Seebeck系数测量仪第20-21页
     ·四探针测试系统第21-22页
     ·X射线衍射仪第22-23页
     ·扫描电子显微镜和能量色散谱仪第23-25页
     ·霍尔效应仪第25页
     ·表面轮廓仪第25-26页
第3章 磁控溅射法制备锑化钴基热电薄膜及性能研究第26-38页
   ·基底的选取与清洗第26页
   ·磁控共溅射制备CoSb_3薄膜及其热电特性的研究第26-30页
     ·溅射功率对薄膜的影响第26-27页
     ·退火温度对薄膜热电性能的影响第27-30页
   ·射频溅射CoSb_3合金靶制备CoSb_3热电薄膜第30-36页
     ·溅射功率对CoSb_3薄膜热电特性的影响研究第31-32页
     ·退火温度对CoSb_3薄膜热电特性的影响研究第32-36页
   ·小结第36-38页
第4章 掺杂和复合对锑化钴基薄膜热电性特性的影响研究第38-53页
   ·不同In掺杂量对CoSb_3薄膜热电性特性的影响研究第38-42页
   ·AZO复合量对CoSb_3薄膜热电性能特性的影响研究第42-46页
   ·本征ZnO复合量对CoSb_3薄膜热电性能特性的影响研究第46-49页
   ·本征ZnO、AZO和CoSb_3复合的薄膜热电性能特性的研究第49-52页
   ·小结第52-53页
第5章 总结第53-55页
参考文献第55-60页
致谢第60-61页
攻读硕士学位期间的研究成果第61-62页

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