离心辅助微模塑法制备金属微器件
| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-28页 |
| ·微机械制造技术的发展 | 第10-11页 |
| ·软刻蚀技术 | 第11-16页 |
| ·软刻蚀技术的提出 | 第11-12页 |
| ·软刻蚀技术的核心 | 第12-13页 |
| ·复制微模塑 | 第13-14页 |
| ·转移微模塑 | 第14页 |
| ·毛细微模塑 | 第14-15页 |
| ·溶剂辅助微模塑 | 第15-16页 |
| ·微接触印刷 | 第16页 |
| ·近场光刻蚀 | 第16页 |
| ·浆料的分散性 | 第16-22页 |
| ·浆料的分散方法 | 第16-17页 |
| ·浆料分散性稳定机制 | 第17-18页 |
| ·浆料分散性影响因素 | 第18-20页 |
| ·浆料分散效果的表征 | 第20-22页 |
| ·浆料注模成型 | 第22-23页 |
| ·软刻蚀技术制备微器件的研究进展 | 第23-27页 |
| ·本课题的研究意义和主要内容 | 第27-28页 |
| 第2章 实验部分 | 第28-33页 |
| ·实验材料与仪器 | 第28-30页 |
| ·实验方法 | 第30-31页 |
| ·PDMS弹性模的制备 | 第30页 |
| ·浆料的制备 | 第30页 |
| ·生坯的制备与烧结 | 第30-31页 |
| ·测试与表征 | 第31-33页 |
| ·pH值的测定 | 第31页 |
| ·粒径和Zeta电位的测定 | 第31页 |
| ·粘度的测定 | 第31页 |
| ·吸光度的测定 | 第31页 |
| ·生坯的热重分析 | 第31-32页 |
| ·微结构形貌表征 | 第32页 |
| ·收缩率的测定 | 第32页 |
| ·孔隙率的测定 | 第32页 |
| ·金相分析 | 第32页 |
| ·显微硬度的测定 | 第32页 |
| ·表面粗糙度的测定 | 第32-33页 |
| 第3章 浆料参数的确定与分散性研究 | 第33-42页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·浆料固相含量的确定 | 第33页 |
| ·浆料球磨时间的确定 | 第33-35页 |
| ·浆料的分散性研究 | 第35-41页 |
| ·平均粒径 | 第35-36页 |
| ·吸光度 | 第36-38页 |
| ·粘度 | 第38-40页 |
| ·Zeta电位 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 离心辅助微模塑成型与烧结研究 | 第42-52页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·PDMS弹性模 | 第42-43页 |
| ·离心参数的确定 | 第43页 |
| ·生坯 | 第43-45页 |
| ·烧结研究 | 第45-50页 |
| ·生坯的热重分析 | 第45页 |
| ·烧结过程缺陷的产生和避免 | 第45-46页 |
| ·烧结工艺的确定 | 第46-47页 |
| ·收缩率与孔隙率 | 第47-48页 |
| ·腐蚀后表面微结构和显微硬度 | 第48-49页 |
| ·表面粗糙度 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 结论 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 附录A (攻读学位期间发表的学术论文) | 第59页 |
