| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-17页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·缓蚀剂的定义与分类 | 第10-11页 |
| ·缓蚀剂的定义 | 第10-11页 |
| ·缓蚀剂的分类 | 第11页 |
| ·缓蚀剂苯并三氮唑及其衍生物的国内外研究现状 | 第11-15页 |
| ·苯并三氮唑作为铜缓蚀剂的早期研究 | 第12页 |
| ·苯并三氮唑的缓蚀机理 | 第12-14页 |
| ·苯并三氮唑的衍生物 | 第14-15页 |
| ·杂环季铵盐缓蚀剂的国内外研究现状 | 第15页 |
| ·本论文研究内容 | 第15-17页 |
| ·本课题的研究意义 | 第15-16页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第16-17页 |
| 2 季铵盐的合成与表征 | 第17-36页 |
| ·实验仪器和药品 | 第17页 |
| ·合成方法 | 第17-21页 |
| ·中间体的合成 | 第17-19页 |
| ·季铵盐的合成 | 第19-21页 |
| ·结构表征 | 第21-32页 |
| ·BMO的分子结构的表征 | 第21-22页 |
| ·CB分子结构的表征 | 第22-23页 |
| ·MBMA分子结构的表征 | 第23-24页 |
| ·BP分子结构的表征 | 第24-25页 |
| ·BQ分子结构的表征 | 第25-27页 |
| ·BM分子结构的表征 | 第27-28页 |
| ·BCP分子结构的表征 | 第28-29页 |
| ·BMPMA分子结构的表征 | 第29-30页 |
| ·BBMMA分子结构的表征 | 第30-32页 |
| ·季铵盐的最佳合成条件的确定 | 第32-36页 |
| ·BP、BQ、BM、BCP、BBMMA的最佳合成条件的确定 | 第32-34页 |
| ·BMPMA的最佳合成条件的确定 | 第34-36页 |
| 3 单晶结构解析 | 第36-54页 |
| ·单晶衍射数据的采集及结构解析 | 第36-38页 |
| ·晶体结构描述 | 第38-54页 |
| ·BP的晶体结构 | 第38-41页 |
| ·BQ的晶体结构 | 第41-43页 |
| ·BM的晶体结构 | 第43-46页 |
| ·BCP的晶体结构 | 第46-48页 |
| ·BMPMA的晶体结构 | 第48-51页 |
| ·BBMMA的晶体结构 | 第51-54页 |
| 4 季铵盐的性能研究 | 第54-77页 |
| ·实验仪器和药品 | 第54页 |
| ·热稳定性分析 | 第54-57页 |
| ·失重法测试 | 第57-63页 |
| ·缓蚀剂浓度对缓蚀效率的影响 | 第58-59页 |
| ·温度对缓蚀效率的影响 | 第59-61页 |
| ·等温吸附模型 | 第61-63页 |
| ·电化学测试 | 第63-74页 |
| ·BP的电化学测试 | 第63-67页 |
| ·BQ的电化学测试 | 第67-70页 |
| ·BMPMA的电化学测试 | 第70-72页 |
| ·BBMMA的电化学测试 | 第72-74页 |
| ·表面形貌分析 | 第74-77页 |
| 5 结论 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-84页 |
| 附录A | 第84-85页 |
| 附录B | 第85-99页 |