| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| ·研究背景和意义 | 第8页 |
| ·微悬臂梁概述 | 第8-10页 |
| ·微悬臂梁的结构特性 | 第8-9页 |
| ·微悬臂梁的国内外研究现状 | 第9-10页 |
| ·微悬臂梁的工作模式 | 第10-11页 |
| ·弯曲模式 | 第10-11页 |
| ·谐振模式 | 第11页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第11-13页 |
| 2 微悬臂梁弹性常数的理论分析 | 第13-22页 |
| ·单层材料微悬臂梁弹性模型以及弹性常数的计算 | 第13-16页 |
| ·多层材料微悬臂梁的弹性模型以及弹性常数的计算 | 第16-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 3 多层复合微悬臂梁结构的有限元分析 | 第22-38页 |
| ·有限元分析理论 | 第22-23页 |
| ·基于 ANSYS 软件的多层复合微悬臂梁结构的有限元分析 | 第23-28页 |
| ·多层复合微悬臂梁的弹性常数与其几何参数的关系 | 第28-37页 |
| ·沉积层厚度变化对不同长度微悬臂频率和梁弹性常数的影响 | 第31-34页 |
| ·沉积层厚度变化对不同宽度微悬臂频率和梁弹性常数的影响 | 第34-35页 |
| ·沉积层厚度变化对不同基底厚度的微悬臂频率和梁弹性常数的影响 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 4 多层材料微悬臂梁动态响应分析 | 第38-54页 |
| ·动力环境分析：阻尼 | 第38-40页 |
| ·多层微悬臂梁简谐振动分析 | 第40-46页 |
| ·在简谐激励下的响应 | 第40-41页 |
| ·基于有限元法多层微悬臂梁简谐振动模拟 | 第41-46页 |
| ·多层微悬臂梁冲击载荷作用下的响应分析 | 第46-52页 |
| ·在冲击载荷下的理论计算 | 第46-48页 |
| ·基于有限元法的多层微悬臂梁冲击载荷分析 | 第48-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 5 总结与展望 | 第54-57页 |
| 参考文献 | 第57-59页 |
| 攻读硕士学位期间正式发表的学术论文 | 第59-60页 |
| 附录 A | 第60-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
