低气压辉光放电等离子体模拟与特性研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·论文选题背景与研究意义 | 第7-8页 |
| ·国内外研究现状 | 第8-10页 |
| ·主要研究工作与内容安排 | 第10-13页 |
| 第二章 辉光放电原理分析 | 第13-37页 |
| ·辉光放电的产生与典型条件 | 第13-14页 |
| ·汤生放电的基本原理 | 第14-22页 |
| ·辉光放电中的粒子运动 | 第22-35页 |
| ·辉光放电中的粒子 | 第22-23页 |
| ·带电粒子的迁移运动 | 第23-29页 |
| ·带电粒子的扩散运动 | 第29-33页 |
| ·粒子碰撞过程分析 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 第三章 低气压辉光放电等离子体数学建模与特性分析 | 第37-53页 |
| ·辉光放电数学建模的建立 | 第37-38页 |
| ·电子连续方程及电子能量守恒方程的参数求解 | 第38-41页 |
| ·电子漂移扩散与输运过程 | 第38-40页 |
| ·源项的处理 | 第40页 |
| ·壁面边界条件处理 | 第40-41页 |
| ·稳定性处理 | 第41页 |
| ·重粒子守恒方程的参数求解 | 第41-45页 |
| ·多组分扩散方程与输运过程 | 第42-44页 |
| ·源项的处理 | 第44-45页 |
| ·壁面边界条件处理 | 第45页 |
| ·稳定性处理 | 第45页 |
| ·等离子体仿真与特性分析 | 第45-52页 |
| ·仿真参数设置 | 第45-47页 |
| ·等离子体电子密度分布 | 第47-49页 |
| ·等离子体电子密度与电流的关系 | 第49-50页 |
| ·等离子体电子密度与放电功率的关系 | 第50-51页 |
| ·等离子体电子密度与二次电子发射系数的关系 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 低气压辉光放电等离子体产生实验与仿真对比 | 第53-63页 |
| ·等离子体产生装置简介 | 第53-54页 |
| ·等离子体电子密度诊断方法 | 第54-56页 |
| ·等离子体产生实验与特性分析 | 第56-59页 |
| ·实验准备与结果记录 | 第56-57页 |
| ·实验等离子体电子密度分布 | 第57-58页 |
| ·实验等离子体电子密度与电流的关系 | 第58-59页 |
| ·实验等离子体电子密度与放电功率的关系 | 第59页 |
| ·等离子体产生实验结果与仿真结果对比 | 第59-61页 |
| ·电子密度分布对比与误差分析 | 第59-60页 |
| ·电子密度与放电功率对比与误差分析 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 第五章 总结与展望 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 在校期间研究成果 | 第71-72页 |
