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基于超声显微镜的薄层材料多参量一体化定征关键技术研究

摘要第1-7页
ABSTRACT第7-13页
第一章 绪论第13-35页
 本章摘要第13页
   ·研究背景与意义第13-17页
     ·薄层材料对现代工业产生巨大影响第13-15页
     ·无损定征是薄层材料发展和应用的基石第15-16页
     ·赋予多参量一体化定征能力是薄层材料定征的追求目标第16-17页
   ·薄层材料无损定征技术研究现状及其发展趋势第17-24页
     ·无损检测方法不断涌现,定征手段日益分丰富第17-19页
     ·超声无损检测技术深入应用,多参量一体化定征成为可能第19-23页
     ·超声显微能力逐步提升,精细化定征长足发展第23-24页
   ·基于超声显微镜的薄层材料定征技术具有巨大的发展潜力第24-29页
     ·基于窄频超声显微镜的薄层材料定征技术研究现状第24-28页
     ·基于脉冲超声显微镜的薄层材料定征技术研究现状第28-29页
   ·本文主要研究内容及其章节安排第29-35页
第二章 任意分层结构的声反射系数计算理论第35-55页
 本章摘要第35页
   ·引言第35-36页
   ·任意分层结构的垂直入射声反射系数计算理论第36-44页
     ·垂直入射声波在分界面上的反射与透射第36-38页
     ·任意分层结构的垂直入射声反射系数计算第38-44页
   ·任意分层结构的斜入射声反射系数计算理论第44-53页
     ·传统Thomson-Haskell算法及其局限性分析第44-48页
     ·改进型Thomson-Haskell算法第48-49页
     ·任意分层结构的斜入射声反射系数计算第49-51页
     ·计算仿真研究第51-53页
   ·本章小结第53-55页
第三章 基于脉冲超声显微镜的二维声反射系数测量技术第55-71页
 本章摘要第55页
   ·引言第55-56页
   ·基于脉冲超声显微镜的二维声反射系数测量技术第56-63页
     ·声反射系数测量理论模型的建立第56-58页
     ·空间采样步距△z的确定第58-59页
     ·扫描超声显微镜的研发第59-63页
   ·实验研究第63-70页
   ·本章小结第70-71页
第四章 基于垂直入射超声反射系数谱的薄层材料多参量一体化定征技术第71-85页
 本章摘要第71页
   ·引言第71-72页
   ·基于垂直入射超声反射系数谱的薄层材料多参量一体化定征技术第72-79页
     ·基于声反射系数谱拟合优化的定征参量反演算法第72-76页
     ·采用聚焦声波实现薄层材料厚度的测量第76-78页
     ·利用聚焦声波实现垂直入射声反射系数谱的测量第78-79页
   ·实验研究第79-84页
   ·本章小结第84-85页
第五章 基于双入射角超声反射系数谱的薄层材料多参量一体化定征技术第85-97页
 本章摘要第85页
   ·引言第85-86页
   ·基于双入射角超声反射系数谱的薄层材料多参量一体化定征技术第86-89页
     ·基于双入射角超声反射系数谱拟合优化的定征参量反演算法第86-89页
     ·利用聚焦声波实现垂直和斜入射声反射系数谱的测量第89页
   ·参数灵敏性和稳定性分析第89-92页
     ·反射系数谱对薄层材料参数的灵敏性分析第89-91页
     ·稳定性分析第91-92页
   ·实验研究第92-95页
   ·本章总结第95-97页
第六章 结论与展望第97-101页
   ·本文结论第97-99页
   ·研究展望第99-101页
参考文献第101-113页
致谢第113-115页
攻读博士学位期间的研究成果第115页

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