| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-20页 |
| ·等离子体的概述 | 第8-9页 |
| ·等离子体的性质 | 第9-12页 |
| ·等离子体的分类 | 第12页 |
| ·等离子体的应用 | 第12-13页 |
| ·等离子体的产生 | 第13-20页 |
| ·微波电子回旋共振等离子体（ECR） | 第13-15页 |
| ·螺旋波等离子体（HWP) | 第15页 |
| ·电感耦合等离子体放电（ICP） | 第15-17页 |
| ·单频容性耦合等离子体（SF-CCP） | 第17-18页 |
| ·双频容性耦合等离子体（DF-CCP） | 第18-20页 |
| 第二章 等离子体的诊断及其方法 | 第20-32页 |
| ·探针法 | 第20-25页 |
| ·郎缪尔静电探针的工作原理和使用条件 | 第21-24页 |
| ·双探针 | 第24-25页 |
| ·光谱法 | 第25-30页 |
| ·发射光谱 | 第26-27页 |
| ·发射光谱议 | 第27-29页 |
| ·利用发射光谱的光化线强度测定法测定待测基团的浓度 | 第29页 |
| ·利用发射光谱测量电子温度 | 第29-30页 |
| ·质谱诊断 | 第30-32页 |
| 第三章 实验装置与诊断系统 | 第32-35页 |
| ·电感耦合增强的容性耦合等离子体放电系统 | 第32-35页 |
| ·真空室 | 第32-33页 |
| ·抽气系统 | 第33页 |
| ·电控系统 | 第33页 |
| ·气路系统 | 第33页 |
| ·水冷却和水压报警系统 | 第33页 |
| ·射频功率源 | 第33页 |
| ·朗缪尔探针 | 第33-35页 |
| 第四章 实验诊断结果 | 第35-46页 |
| ·氮气和氢气的放电特性 | 第35-41页 |
| ·电感耦合放电对单频容性耦合等离子体的影响 | 第35-37页 |
| ·不同气压下电感耦合放电对双频容性耦合等离子体的影响 | 第37-39页 |
| ·上、下及线圈功率对电感耦合增强的双频容性耦合等离子体的影响 | 第39-40页 |
| ·气压对电感耦合增强的双频容性耦合等离子体的影响 | 第40-41页 |
| ·氮气和氩气的放电特性 | 第41-46页 |
| ·电感耦合放电对双频容性耦合等离子体的影响 | 第41-42页 |
| ·线圈功率对电感耦合增强的双频容性耦合等离子体的影响 | 第42-43页 |
| ·氩气的比例对电感耦合增强的双频容性耦合等离子体的影响 | 第43-46页 |
| 第五章 结论 | 第46-48页 |
| 参考文献 | 第48-52页 |
| 攻读学位期间公开发表的论文及科研成果 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53页 |
