| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-30页 |
| ·Ti-Ni 形状记忆合金薄膜概述 | 第9-15页 |
| ·Ti-Ni 形状记忆合金薄膜的发展 | 第9-10页 |
| ·Ti-Ni 形状记忆合金薄膜在微机电系统中的应用 | 第10-15页 |
| ·TiNi 形状记忆合金薄膜的性能特点及作用机理 | 第15-22页 |
| ·形状记忆合金薄膜的形状记忆效应 | 第15-18页 |
| ·超弹性能 | 第18-20页 |
| ·TiNi 形状记忆合金薄膜中的析出相 | 第20-22页 |
| ·TiNi 形状记忆合金薄膜的研究现状 | 第22-28页 |
| ·钛镍合金薄膜的制备方法 | 第22-25页 |
| ·晶化热处理工艺 | 第25-28页 |
| ·新的研究方向 | 第28页 |
| ·选题目的和研究内容 | 第28-30页 |
| 第2章 溅射压强与靶基距对薄膜成分的影响 | 第30-42页 |
| ·引言 | 第30-31页 |
| ·实验过程 | 第31-33页 |
| ·实验结果与讨论 | 第33-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第3章 TiNi薄膜显微结构的分析 | 第42-54页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·实验过程 | 第42-43页 |
| ·实验结果与讨论 | 第43-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第4章 不同溅射压强下薄膜的相变伪弹性及力学性能 | 第54-67页 |
| ·引言 | 第54-55页 |
| ·实验过程 | 第55页 |
| ·实验结果与讨论 | 第55-65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 第5章 结论 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-74页 |
| 致谢 | 第74页 |