| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-12页 |
| 1 绪论 | 第12-28页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第12-13页 |
| ·文献综述 | 第13-26页 |
| ·超硬材料及发展 | 第13-14页 |
| ·硼及B_(12)二十面体 | 第14-16页 |
| ·三元金属硼化物AlMgB_(14) | 第16-18页 |
| ·AlMgB_(14)材料的制备 | 第18-20页 |
| ·薄膜制备技术 | 第20-26页 |
| ·论文研究内容 | 第26-28页 |
| 2 实验过程与方法 | 第28-39页 |
| ·沉积设备 | 第28-29页 |
| ·溅射靶材材料 | 第29页 |
| ·衬底选择及预处理 | 第29-31页 |
| ·衬底材料 | 第29-30页 |
| ·衬底预处理 | 第30-31页 |
| ·薄膜制备 | 第31-35页 |
| ·成分优化 | 第31-32页 |
| ·沉积温度优化 | 第32页 |
| ·沉积气压优化 | 第32-33页 |
| ·负偏压优化 | 第33页 |
| ·硬质合金刀具表面应用 | 第33-34页 |
| ·元素掺杂Al-Mg-B薄膜 | 第34-35页 |
| ·Al-Mg-B薄膜表征 | 第35-39页 |
| ·化学成分 | 第35页 |
| ·表面形貌 | 第35页 |
| ·物质结构 | 第35-36页 |
| ·化学键 | 第36页 |
| ·沉积速率 | 第36-37页 |
| ·硬度 | 第37页 |
| ·摩擦系数及磨损失效 | 第37-38页 |
| ·膜基结合力 | 第38-39页 |
| 3 Al-Mg-B薄膜成分优化 | 第39-55页 |
| ·溅射功率对Al-Mg-B薄膜成分及形貌的影响 | 第39-45页 |
| ·溅射功率对薄膜成分的影响 | 第39-41页 |
| ·溅射功率对薄膜形貌的影响 | 第41-45页 |
| ·溅射功率对Al-Mg-B薄膜结构的影响 | 第45-46页 |
| ·溅射功率对薄膜物质结构的影响 | 第45-46页 |
| ·溅射功率对薄膜化学键的影响 | 第46页 |
| ·溅射功率对Al-Mg-B薄膜力学性能的影响 | 第46-53页 |
| ·溅射功率对薄膜沉积速率的影响 | 第46-48页 |
| ·溅射功率对薄膜硬度的影响 | 第48-51页 |
| ·溅射功率对薄膜摩擦性能的影响 | 第51-53页 |
| ·薄膜成分优化选择 | 第53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 4 Al-Mg-B薄膜制备沉积温度、气压、偏压优化 | 第55-83页 |
| ·沉积温度对Al-Mg-B薄膜性能的影响 | 第55-64页 |
| ·沉积温度对薄膜成分的影响 | 第55-56页 |
| ·沉积温度对薄膜形貌的影响 | 第56-58页 |
| ·沉积温度对薄膜物质结构的影响 | 第58页 |
| ·沉积温度对薄膜化学键的影响 | 第58-61页 |
| ·沉积温度对薄膜力学性能的影响 | 第61-63页 |
| ·本节小结 | 第63-64页 |
| ·沉积气压对Al-Mg-B薄膜性能的影响 | 第64-73页 |
| ·沉积气压对薄膜成分的影响 | 第64-65页 |
| ·沉积气压对薄膜形貌的影响 | 第65-67页 |
| ·沉积气压对薄膜物质结构的影响 | 第67-68页 |
| ·沉积气压对薄膜化学键的影响 | 第68-69页 |
| ·沉积气压对薄膜力学性能的影响 | 第69-73页 |
| ·本节小结 | 第73页 |
| ·负偏压对Al-Mg-B薄膜性能的影响 | 第73-81页 |
| ·负偏压对薄膜成分的影响 | 第73-74页 |
| ·负偏压对薄膜形貌的影响 | 第74-76页 |
| ·负偏压对薄膜物质结构的影响 | 第76页 |
| ·负偏压对薄膜化学键的影响 | 第76-78页 |
| ·负偏压对薄膜力学性能的影响 | 第78-81页 |
| ·本节小结 | 第81页 |
| ·本章小结 | 第81-83页 |
| 5 非晶Al-Mg-B薄膜在硬质合金刀具上的应用研究 | 第83-93页 |
| ·硬质合金刀具预处理 | 第83-86页 |
| ·硬质合金刀具表面薄膜制备 | 第86-87页 |
| ·涂层刀具力学性能表征 | 第87-92页 |
| ·硬度 | 第87-88页 |
| ·摩擦系数 | 第88-89页 |
| ·膜基结合力 | 第89-90页 |
| ·切削性能 | 第90-92页 |
| ·本章小结 | 第92-93页 |
| 6 Al-Mg-B硬化机理分析 | 第93-110页 |
| ·AlMgB_(14)结构理论计算 | 第93-99页 |
| ·模型建立及计算方法 | 第93页 |
| ·晶体结构和结合能 | 第93-94页 |
| ·弹性模量和硬度 | 第94-95页 |
| ·电子结构 | 第95-99页 |
| ·元素掺杂硬化机理分析 | 第99-106页 |
| ·薄膜元素掺杂实验设计 | 第99-100页 |
| ·Ti、Cr元素掺杂薄膜性能分析 | 第100-102页 |
| ·Si、N元素掺杂薄膜性能分析 | 第102-105页 |
| ·非晶Al-Mg-B薄膜硬化机理 | 第105-106页 |
| ·团簇结构设计 | 第106-109页 |
| ·团簇结构模型 | 第106-107页 |
| ·硼化物中存在的主团簇 | 第107-109页 |
| ·本章小结 | 第109-110页 |
| 结论 | 第110-111页 |
| 参考文献 | 第111-121页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第121-122页 |
| 创新点摘要 | 第122-123页 |
| 致谢 | 第123-124页 |
| 作者简介 | 第124-125页 |