镶嵌在氮化硅薄膜中纳米硅发光机制研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-12页 |
| ·硅基纳米发光材料的研究背景和意义 | 第8-9页 |
| ·纳米硅复合结构发光特性研究进展 | 第9-10页 |
| ·本论文的立论依据及内容 | 第10-12页 |
| 第2章 实验原理和方法 | 第12-16页 |
| ·富硅氮化硅薄膜制备方法 | 第12页 |
| ·薄膜微结构特性分析技术 | 第12-13页 |
| ·傅立叶变换红外光谱(FTIR) | 第12页 |
| ·拉曼散射谱(Raman) | 第12-13页 |
| ·薄膜光学特性分析技术 | 第13-16页 |
| ·光致发光(PL)和光致发光激发(PLE)谱 | 第13-14页 |
| ·紫外-可见吸收光谱(UV-VIS) | 第14-16页 |
| 第3章 富硅氮化硅薄膜微结构及光吸收特性分析 | 第16-24页 |
| ·富硅氮化硅薄膜微结构特性分析 | 第16-19页 |
| ·不同配比样品微结构特性分析 | 第16-18页 |
| ·不同氢稀释比样品微结构特性分析 | 第18-19页 |
| ·富硅氮化硅薄膜光吸收特性分析 | 第19-23页 |
| ·不同配比样品光吸收特性分析 | 第19-21页 |
| ·不同氢稀释比样品光吸收特性分析 | 第21-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第4章 富硅氮化硅薄膜发光特性分析 | 第24-30页 |
| ·富硅氮化硅薄膜的可调光致发光特性 | 第24-25页 |
| ·不同配比样品的PL谱 | 第24页 |
| ·不同氢稀释比样品的PL谱 | 第24-25页 |
| ·典型样品发光特性分析 | 第25-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第5章 富硅氮化硅薄膜发光机制研究 | 第30-42页 |
| ·富硅氮化硅薄膜PL谱GAUSS分量拟合结果 | 第30-32页 |
| ·不同配比样品拟合结果 | 第30-31页 |
| ·不同氢稀释比样品拟合结果 | 第31-32页 |
| ·富硅氮化硅薄膜PLE谱分析 | 第32-34页 |
| ·富硅氮化硅薄膜发光起源分析 | 第34-35页 |
| ·富硅氮化硅薄膜载流子复合过程分析 | 第35-38页 |
| ·纳米硅复合结构发光特性影响因素分析 | 第38-41页 |
| ·纳米硅量子限制效应对薄膜发光特性的影响 | 第38-39页 |
| ·纳米硅界面特性对薄膜发光特性的影响 | 第39-40页 |
| ·氮化硅介质对薄膜发光特性的影响 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 结束语 | 第42-44页 |
| 参考文献 | 第44-47页 |
| 致谢 | 第47页 |
