AZ31镁合金表面磁控溅射碳氮化钛薄膜及其性能研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·镁及其合金 | 第9-13页 |
| ·镁及其合金的特性与应用 | 第9-10页 |
| ·镁及其合金的腐蚀研究 | 第10-11页 |
| ·镁及其合金的表面防护膜研究现状 | 第11-13页 |
| ·碳氮化钛 | 第13-16页 |
| ·碳氮化钛的特性与应用 | 第13-14页 |
| ·碳氮化钛的研究现状 | 第14页 |
| ·碳氮化钛的制备 | 第14-16页 |
| ·薄膜的生长与应力 | 第16-18页 |
| ·薄膜的生长[51] | 第16-18页 |
| ·薄膜的应力 | 第18页 |
| ·课题的研究目的及意义 | 第18-19页 |
| 2 实验方法及测试手段 | 第19-27页 |
| ·仪器及原材料 | 第19-20页 |
| ·碳氮化钛硬质薄膜的制备 | 第20-24页 |
| ·镁合金表面预处理 | 第20页 |
| ·反应碳氮化钛薄膜的制备 | 第20-22页 |
| ·碳氮化钛靶制备薄膜 | 第22-23页 |
| ·磁控溅射原理[58-60] | 第23-24页 |
| ·薄膜的性能测试 | 第24-27页 |
| ·电化学检测 | 第24-25页 |
| ·表面形貌检测 | 第25页 |
| ·表面组成分析 | 第25-26页 |
| ·微观结构分析 | 第26页 |
| ·膜基结合力检测 | 第26页 |
| ·薄膜厚度、表面粗糙度及硬度检测 | 第26-27页 |
| 3 反应溅射制备碳氮化钛薄膜及性能研究 | 第27-42页 |
| ·实验方案 | 第27页 |
| ·制备工艺参数对薄膜性能的影响 | 第27-31页 |
| ·钛靶溅射功率对碳氮化钛薄膜的性能影响 | 第28-29页 |
| ·碳靶溅射功率对碳氮化钛薄膜性能的影响 | 第29-30页 |
| ·氮气流量对碳氮化钛薄膜性能的影响 | 第30-31页 |
| ·碳氮化钛薄膜的表征 | 第31-38页 |
| ·碳氮化钛薄膜结构分析 | 第31-32页 |
| ·碳氮化钛薄膜的表面成分分析 | 第32-35页 |
| ·碳氮化钛薄膜的表面形貌分析 | 第35-37页 |
| ·碳氮化钛薄膜的膜基结合力分析 | 第37-38页 |
| ·碳氮化钛薄膜的耐腐蚀性能分析 | 第38-40页 |
| ·碳氮化钛镀膜样品的极化曲线 | 第38-39页 |
| ·碳氮化钛镀膜样品的交流阻抗谱 | 第39-40页 |
| ·碳氮化钛薄膜厚度、表面粗糙度以及硬度检测 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 4 碳氮化钛靶直接制备薄膜的研究 | 第42-53页 |
| ·实验方案 | 第42页 |
| ·化合物薄膜的表征 | 第42-50页 |
| ·化合物薄膜的结构分析 | 第42-44页 |
| ·化合物薄膜的表面成分分析 | 第44-46页 |
| ·化合物薄膜的表面形貌分析 | 第46-47页 |
| ·化合物薄膜的膜基结合力测试 | 第47-48页 |
| ·化合物薄膜的耐腐蚀性能分析 | 第48-49页 |
| ·化合物薄膜厚度、表面粗糙度以及硬度检测 | 第49-50页 |
| ·不同制备方法的碳氮化钛薄膜比较 | 第50-52页 |
| ·薄膜性能的比较 | 第50-51页 |
| ·薄膜制备工艺比较 | 第51页 |
| ·薄膜制备成本比较 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 5 主要结论 | 第53-55页 |
| ·主要结论 | 第53页 |
| ·创新点 | 第53-54页 |
| ·展望 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-61页 |
| 附录 | 第61页 |
| A. 作者在攻读学位期间发表的论文目录 | 第61页 |
