单晶硅微锥塔结构表面的磨削精度评价
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| ·课题研究的意义 | 第10-11页 |
| ·国内外表面功能结构制造研究现状 | 第11-15页 |
| ·腐蚀加工 | 第12页 |
| ·激光加工 | 第12-13页 |
| ·机械加工 | 第13-15页 |
| ·课题的主要研究内容 | 第15页 |
| ·本章小结 | 第15-16页 |
| 第二章 数据检测及匹配处理方法 | 第16-30页 |
| ·结构形貌数据检测设备 | 第16-19页 |
| ·表面结构形貌检测形式 | 第19-20页 |
| ·空间三维数据的SVD-ICP匹配处理 | 第20-29页 |
| ·空间三维数据重建表面结构形貌 | 第20-21页 |
| ·SVD-ICP对齐匹配 | 第21-24页 |
| ·基于Matlab的SVD-ICP算法 | 第24-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 微V形沟槽结构形貌评价模型 | 第30-46页 |
| ·V形轮廓成形特性 | 第30-31页 |
| ·微V形轮廓角度计算模型 | 第31-36页 |
| ·几何模型的建立 | 第31-34页 |
| ·程序设计 | 第34-36页 |
| ·V形轮廓底部圆弧拟合 | 第36-44页 |
| ·几何模型的建立 | 第36-41页 |
| ·程序设计 | 第41-44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 第四章 微锥塔结构三维形貌评价模型 | 第46-57页 |
| ·微锥塔结构成形特性 | 第46-47页 |
| ·微锥塔锥顶球面拟合 | 第47-52页 |
| ·程序设计 | 第52-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 单晶硅表面微锥塔阵列结构加工研究 | 第57-75页 |
| ·实验设备 | 第57-59页 |
| ·数控对磨修整技术 | 第59-61页 |
| ·单晶硅各向异性对微结构加工的影响 | 第61-66页 |
| ·晶体材料的结构特性 | 第61-62页 |
| ·单晶硅晶体结构特性 | 第62-63页 |
| ·单晶硅(100)晶面微V沟槽加工实验 | 第63-66页 |
| ·微锥塔阵列结构加工实验 | 第66-68页 |
| ·微锥塔阵列结构加工实验结果分析 | 第68-74页 |
| ·微锥塔阵列形貌 | 第68-70页 |
| ·SD600 加工微结构误差分析 | 第70-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 全文总结与展望 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-82页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 附件 | 第84页 |
